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TESCAN 電鏡質(zhì)譜 FIB-SEM-TOF-SIMS 聯(lián)用系統(tǒng)

電子顯微分析是材料和生命科學(xué)微觀分析中*重要的一環(huán),，而元素分析是其中*重要的表征手段之一,，但標(biāo)準(zhǔn)的分析手段如能譜儀和波譜儀存在很多不足，例如因靈敏度不足,、空間分辨率較差,，無法進(jìn)行輕元素、微量元素的分析,，無法分辨同位素等等,，普通的分析手段已不能滿足現(xiàn)階段應(yīng)用的需求。

TESCAN 提供的解決方案是將飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜與 FIB-SEM 系統(tǒng)集成,。這種組合能夠?yàn)橛脩籼峁┕腆w材料的 3D 化學(xué)表征和分子信息,，高離子質(zhì)量分辨率和高空間分辨率成像等，并可以進(jìn)行原位 FIB 深度分析,。

飛行時(shí)間-二次離子質(zhì)譜（TOF-SIMS）

TOF-SIMS(Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry) 是具有極高分辨率的質(zhì)譜儀,，工作原理是用聚焦離子束照射樣品表面，從而在樣品*上層的原子層激發(fā)出二次離子 (SI）,，再根據(jù)不同質(zhì)量的二次離子飛行到探測器的時(shí)間不同來測定離子質(zhì)量,。

與 EDX 相比，TOF-SIMS 可以實(shí)現(xiàn)更好的橫向和縱向分辨率,，還可以識別并定量樣品表面層中存在的元素和分子物質(zhì),，以及具有類似標(biāo)稱質(zhì)量的同位素和其他物質(zhì)等。

系統(tǒng)主要優(yōu)勢：

ü 高靈敏度,，Be,，B和Li之類的輕元素檢出限可達(dá)ppm級

ü 優(yōu)異的空間分辨率，橫向分辨<40nm,，縱向分辨率<15 nm

ü 正負(fù)離子均可檢測,，離子質(zhì)量分辨率>800

ü 2維和3維快速、高離子質(zhì)量分辨率和高空間分辨率成像,，進(jìn)行原位FIB深度分析

ü 通過坐標(biāo)轉(zhuǎn)移,，保證不同儀器分析位置的重合

應(yīng)用案例：

1. 輕元素及微量元素分析：Li 離子電池中 LI⁺ 面分布分析

2. 通過低電壓和小束流 FIB 逐層減薄，成功區(qū)分出厚度為 2.5 nm 的摻有 0~15% 的 In 元素的 GaN 層

3. 金屬復(fù)合材料中微量元素的晶界偏析測定,，檢出限可達(dá) ppm 級

4. 對鈾礦石進(jìn)行初期的同位素分析,，快速得到 ²³⁸U 和 ²³⁵U 的分布信息

關(guān)于TESCAN

TESCAN發(fā)源于全球**的電鏡制造基地-捷克Brno，是電子顯微鏡及聚焦離子束系統(tǒng)領(lǐng)域全球知名的跨國公司,，有超過60年的電子顯微鏡研發(fā)和制造歷史,，是掃描電子顯微鏡與拉曼光譜儀聯(lián)用技術(shù)、聚焦離子束與飛行時(shí)間質(zhì)譜儀聯(lián)用技術(shù)以及氙等離子聚焦離子束技術(shù)的開拓者,，也是行業(yè)領(lǐng)域的技術(shù)***,。