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室溫自動(dòng)探針臺(tái),，高可靠性探針臺(tái)系統(tǒng),，主要應(yīng)用在半導(dǎo)體/微電子,， 電子,，機(jī)電,，物理,，化學(xué),，材料，光電,，納米,，微機(jī)電/MEMs，生物芯片等科學(xué)研究領(lǐng)域,，以及IC設(shè)計(jì)/制造/測(cè)試/封裝,、LED、LCD/OLED,、LD/PD,、PCB,、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。

旨在預(yù)算與高測(cè)量可靠性之間尋求平衡點(diǎn),，該平臺(tái)配備高精度位移臺(tái),，可實(shí)現(xiàn)X、Y,、Z,、 R等方向自動(dòng)調(diào)整，各移動(dòng)軸可實(shí)現(xiàn)±0.005mm以下的精度定位,，對(duì)陣列型測(cè)量特征可實(shí)現(xiàn)快速準(zhǔn)確的測(cè)量,。經(jīng)濟(jì)實(shí)用，穩(wěn)定性強(qiáng),，可升級(jí)擴(kuò)展,，操作方便是本產(chǎn)品的核心價(jià)值，在各大高校,、研究所及半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用廣泛,。

產(chǎn)品特征

1、標(biāo)配4個(gè)探針臂,，可提供4-8個(gè)探針臂,。調(diào)節(jié)范圍50mm*50mm*30mm，調(diào)節(jié)精度優(yōu)于5um,。每個(gè)探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針,。樣品臺(tái)底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜；

2,、顯微鏡模塊：連續(xù)變倍單筒顯微鏡，光學(xué)放大倍率：0.5X~5.0X（使用1X附加物鏡時(shí)）,， 視頻放大倍率約700倍,。可選2X附加物鏡,。分辨率優(yōu)于2um,。全高清數(shù)字?jǐn)z像頭，帶同軸照明和環(huán)形照明,，帶機(jī)械調(diào)焦和光學(xué)調(diào)焦,；

3、樣品座采用電機(jī)驅(qū)動(dòng),，可實(shí)現(xiàn)快速于目鏡下尋找樣品,，調(diào)節(jié)范圍：100mm*100mm*15mm*±180°。