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室溫自動探針臺，高可靠性探針臺系統(tǒng)，主要應(yīng)用在半導(dǎo)體/微電子,， 電子，機電,，物理，化學(xué),，材料，光電,，納米,，微機電/MEMs，生物芯片等科學(xué)研究領(lǐng)域,，以及IC設(shè)計/制造/測試/封裝,、LED、LCD/OLED,、LD/PD,、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域,。

旨在預(yù)算與高測量可靠性之間尋求平衡點,，該平臺配備高精度位移臺，可實現(xiàn)X,、Y,、Z、 R等方向自動調(diào)整,，各移動軸可實現(xiàn)±0.005mm以下的精度定位,，對陣列型測量特征可實現(xiàn)快速準確的測量。經(jīng)濟實用,，穩(wěn)定性強,，可升級擴展，操作方便是本產(chǎn)品的核心價值,，在各大高校,、研究所及半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用廣泛。

產(chǎn)品特征

1,、標配4個探針臂,，可提供4-8個探針臂,。調(diào)節(jié)范圍50mm*50mm*30mm，調(diào)節(jié)精度優(yōu)于5um,。每個探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針,。樣品臺底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜；

2,、顯微鏡模塊：連續(xù)變倍單筒顯微鏡,，光學(xué)放大倍率：0.5X~5.0X（使用1X附加物鏡時）， 視頻放大倍率約700倍,?？蛇x2X附加物鏡。分辨率優(yōu)于2um,。全高清數(shù)字攝像頭,，帶同軸照明和環(huán)形照明，帶機械調(diào)焦和光學(xué)調(diào)焦,；

3,、樣品座采用電機驅(qū)動，可實現(xiàn)快速于目鏡下尋找樣品,，調(diào)節(jié)范圍：100mm*100mm*15mm*±180°,。