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SOLARUS (955)Plasma Cleaning System等離子清洗儀

產品功能介紹
　　等離子清洗技術起源于約30年前的半導體行業(yè),等離子清洗主要用于清洗樣品表面的碳氫化合物.等離子清洗的關鍵要點在于：不能改變樣品本身的化學組成;不能改變樣品的結構特征,；不能損傷樣品表面,。
　　SOLARUS - 全新先進等離子體清洗系統(tǒng)，去除碳氫化合物對TEM和SEM樣品臺或樣品的污染,。Solarus是新一代等離子系統(tǒng),，其改造的新概念和技術令它具有更佳的性能，操作簡便和良好的清洗效果,。與市面上其他任何等離子清洗體系統(tǒng)相比,，Solarus能提供***的清洗效果。
品牌介紹
　　美國GATAN公司成立于1964年并于70年代末進入中國市場,。GATAN公司以其產品的高性能及技術的先進性在全球電鏡界享有極高聲譽,。
　　作為****的設計和制造用于增強和拓展電子顯微鏡功能的附件廠商，其產品涵蓋了從樣品制備到成像,、分析等所有步驟的需求,。產品應用范圍包括材料科學、生命科學,、地球物理學,、電子學，能源科學等領域,， 客戶范圍涵蓋全球的科研院所,，高校，各類檢測機構及大型工業(yè)企業(yè)實驗室,，并且在國際科學研究領域得到了廣泛認同,。
經銷商介紹
　　歐波同有限公司是中國**的微納米技術服務供應商，是一家以外資企業(yè)作為投資背景的高新技術企業(yè),，總部位于香港,，分別在北京、上海,、遼寧,、山東等地設有分公司和辦事處。作為蔡司電子顯微鏡,、GATAN掃描電子顯微鏡制樣設備及附屬分析設備在中國地區(qū)重要的戰(zhàn)略合作伙伴,，公司秉承“打造國內影響力的儀器銷售品牌”的經營理念，與蔡司,，GATAN品牌強強聯合,，正在為數以萬計的中國用戶提供高品質的產品與國際尖端技術服務。
產品主要技術特點：
　　Solarus是一種獨特的清洗解決方案,，它利用等離子配方,，對于所有的樣品，包括Holey碳膜,，都具有更快更徹底的清洗效果,。該設備能安全地清洗掉表面沉積的污染物—擴展了對已經被污染的樣品的觀察時間。采用分子泵搭配多級隔膜泵的真空系統(tǒng)可確?？焖倏煽康某闅庑Ч?。不到1分鐘的抽氣與放氣時間，30秒--2分鐘的清洗時間,，整個過程不用2分鐘,。


使用等離子清洗的好處：
增強成像能力
提高元素分析的準確性
在SEM中，延長EDX和EBSD的觀察和采集時間
可使用更小的束斑,，這對于TEM/STEM中的STEM和EELS分析非常重要,。



產品主要技術參數：

射頻源:  50瓦的射頻電源，具有功率自動匹配功能
真空系統(tǒng)：70升/秒的分子泵搭配兩級隔膜泵
氣壓： 5E-6 Torr基本壓力,，400mTorr工作壓力
真空規(guī)：緊湊的皮拉尼規(guī)
艙室：
    兩個前置接口能裝載TEM適配器,，用于裝載側插TEM樣品桿和SEM樣品桿
    頂部入口用于放入SEM樣品臺，顯微鏡鏡筒部件或者各種真空件
       艙室尺寸為3.5”直徑 x 2.0” 深度
    前置觀察窗能觀察工作時的等離子體發(fā)光
    內置的電磁閥將艙室與真空泵之間隔離開,，抽真空時間不到1分鐘,，放氣時間小于5秒。
氣體控制：采用精確的質量流量計來測量及控制氣體流量
氣體種類：采用三路獨立氣體（H2,，O2和Ar）
清洗配方：提供包含有H2/O2配方等一系列配方,，同時支持用戶自定義配方
用戶界面：采用交互式觸摸屏，提供包含有中文,、英文等多種語言界面
電源：通用電壓/頻率100VAC - 240VAC/50-60Hz/1000W

相比于傳統(tǒng)的等離子清洗儀,，Solarus的主要優(yōu)勢：
1.)獨特的H2/O2配方
2.)更快的清洗周期（不到2分鐘）
3.)交互式的觸摸屏設計
4.)提供7種經測試過的一鍵操作式配方
5.)2個用于裝載側插TEM和SEM樣品桿的前置裝樣口
6.)頂部裝樣口可裝載多個（>25）TEM微柵或者SEM樣品臺/樣品
7.)自動匹配功率的射頻源確保等離子源的長時間穩(wěn)定
8.)精確的氣體流量控制（質量流量計）
9.)*小損傷的清洗Holey碳膜


10.)支持多種語言（英語、中文,、日語,、韓文,、法語、德語）




產品主要應用


去除碳氫化合物對TEM和SEM樣品臺或樣品的污染