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Gatan SmartEMIC 電子束感應(yīng)電流測(cè)量系統(tǒng)

        產(chǎn)品綜合介紹：

        產(chǎn)品功能介紹

        EBIC分析系統(tǒng)，可以實(shí)時(shí)軟件控制全自動(dòng)采集電子束感生電流（EBIC）信號(hào)，獲得EBIC圖像信息,，還可以獲得IV曲線信息,，*終可以測(cè)試PN結(jié)位置，寬度,，少子擴(kuò)散長(zhǎng)度,，材料或器件的失效點(diǎn)定位，廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體領(lǐng)域,。

        品牌介紹

        美國(guó)GATAN公司成立于1964年并于70年代末進(jìn)入中國(guó)市場(chǎng),。GATAN公司以其產(chǎn)品的高性能及技術(shù)的先進(jìn)性在全球電鏡界享有極高聲譽(yù)。

        作為****的設(shè)計(jì)和制造用于增強(qiáng)和拓展電子顯微鏡功能的附件廠商,，其產(chǎn)品涵蓋了從樣品制備到成像,、分析等所有步驟的需求。產(chǎn)品應(yīng)用范圍包括材料科學(xué),、生命科學(xué)、地球物理學(xué),、電子學(xué),，能源科學(xué)等領(lǐng)域， 客戶范圍涵蓋全球的科研院所,，高校,，各類檢測(cè)機(jī)構(gòu)及大型工業(yè)企業(yè)實(shí)驗(yàn)室，并且在國(guó)際科學(xué)研究領(lǐng)域得到了廣泛認(rèn)同,。

        經(jīng)銷商介紹

        歐波同有限公司是中國(guó)**的微納米技術(shù)服務(wù)供應(yīng)商,，是一家以外資企業(yè)作為投資背景的高新技術(shù)企業(yè)，總部位于香港,，分別在北京,、上海、遼寧,、山東等地設(shè)有分公司和辦事處,。作為蔡司電子顯微鏡、GATAN掃描電子顯微鏡制樣設(shè)備及附屬分析設(shè)備在中國(guó)地區(qū)重要的戰(zhàn)略合作伙伴,，公司秉承“打造國(guó)內(nèi)影響力的儀器銷售品牌”的經(jīng)營(yíng)理念,，與蔡司，GATAN品牌強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合,，正在為數(shù)以萬計(jì)的中國(guó)用戶提供高品質(zhì)的產(chǎn)品與國(guó)際尖端技術(shù)服務(wù),。

        產(chǎn)品系統(tǒng)特點(diǎn)：

        高性能、地噪聲EBIC系統(tǒng),，進(jìn)行定量EBIC測(cè)量,。界面友好的智能分析軟件運(yùn)行于DigitalMicrograph軟件平臺(tái)。

        用于SEM的SmartEBIC 系統(tǒng)包括：

        ?計(jì)算機(jī)控制的、充電電池供電的EBIC放大器

        ?高級(jí)EBIC樣品座(ASH),，并配有可調(diào)節(jié)的鎢探針以進(jìn)行臺(tái)式接觸,。配以適當(dāng)?shù)?/span>Gatan適配器還可以通過空氣鎖來裝載試樣*

        ? 與SEM樣品臺(tái)接口

        ?鏈接插座及4個(gè)BNC型的電纜鏈接，低噪聲這空饋通,，適于EBIC和電子束流的測(cè)量

        ?具有Fireware技術(shù)的DigiScan II數(shù)字電子束控制系統(tǒng),。它包括兩個(gè)模擬輸入，可同時(shí)采集攝影質(zhì)量的圖像,，并可靈活控制像素強(qiáng)度,、每點(diǎn)駐留時(shí)間、掃描旋轉(zhuǎn)等,。對(duì)于某些SEM,，它還可以通過軟件通訊SEM的操作參數(shù)。

        ?配有先進(jìn)的SmartEBIC應(yīng)用插件的Digital Micrography軟件,，以進(jìn)行定量測(cè)量,、線性輪廓的實(shí)時(shí)和后處理分析

        產(chǎn)品主要技術(shù)參數(shù)：

        SmartEBIC可以對(duì)EBIC信號(hào)進(jìn)行自動(dòng)控制采集和定量分析:

        掃描控制系統(tǒng):

  1、1-, 2- or 4-比特?cái)?shù)據(jù)采集提供了超大的動(dòng)態(tài)范圍

  2,、從 16 x 1 至 8000 x 8000 像素掃描分辨率

  3,、電子束停留時(shí)間，在0.5毫秒/像素到300毫秒/像素之間可調(diào)

  4,、自動(dòng)調(diào)節(jié)圖像顯示大小,，使得EBIC實(shí)驗(yàn)過程變得更方便

*5、配置Digi-Scan控制器,，實(shí)時(shí)軟件控制全自動(dòng)采集,，可以在EBIC信號(hào)的采集時(shí)就對(duì)信號(hào)進(jìn)行定量分析，無需附加的后處理,，

*6,、不僅獲得EBIC圖像信息，還可以獲得IV曲線信息,。

        噪音控制:

  1. 特別設(shè)計(jì)的EBIC附屬樣品臺(tái)

  2. 同軸繞線方式

  3. 可重復(fù)使用的鉛酸電池 (15小時(shí)續(xù)航時(shí)間)

  4. 可以改變放大器的增益,，從而**化數(shù)據(jù)采集的信噪比和帶寬

  5. 兩種可選的一階RC濾波器 ，低通或高通濾波

  6. 低漂移放大模式

  7. 在與PC通訊的時(shí)間以外,，系統(tǒng)的微處理器會(huì)自動(dòng)切換到睡眠狀態(tài)

  8. 豐富的圖像處理工具,。包含銳化工具、平滑工具和傅立葉變換工具等,。  

  9. 可以適配與Lock-in技術(shù)（本系統(tǒng)并不提供,，這樣的配置系統(tǒng)將不會(huì)對(duì)EBIC信號(hào)定量分析）

        追蹤:

        通過軟件實(shí)現(xiàn)。在12bit（1.22mV）采集分辨率模時(shí)為+/-5V,。

        自動(dòng)化:

        即使在放大器參數(shù)設(shè)定欠佳的條件下,，系統(tǒng)也能自動(dòng)優(yōu)化圖像的顯示大小,，從而提供更方便的圖像瀏覽

        可以對(duì)放大器的偏移/增益進(jìn)行自動(dòng)設(shè)置

        軟件:

        流程式一維擴(kuò)散長(zhǎng)度測(cè)量

        廣泛的面掃/線掃描分析工具，包括數(shù)學(xué)分析工具,，濾波應(yīng)用等

        廣泛的圖像顯示方案選項(xiàng),，包括二次電子圖像與EBIC圖像的疊加

        編程語(yǔ)言可助您為自己的實(shí)驗(yàn)編寫定制化軟件

        產(chǎn)品主要應(yīng)用領(lǐng)域：

        測(cè)試PN結(jié)位置，寬度,，少子擴(kuò)散長(zhǎng)度金屬材料

        材料或器件的失效點(diǎn)定位

        測(cè)試半導(dǎo)體材料的位錯(cuò)密度

        IV特性測(cè)試

        應(yīng)用實(shí)例：

        應(yīng)用一：測(cè)試PN結(jié)位置,，寬度，少子擴(kuò)散長(zhǎng)度

應(yīng)用二：材料或器件的失效點(diǎn)定位

                                                                 ?