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Gatan SmartEMIC 電子束感應(yīng)電流測量系統(tǒng)
品牌: GATAN | 名稱型號:Gatan SmartEMIC 電子束感應(yīng)電流測量系統(tǒng) |
制造商: GATAN公司 | 經(jīng)銷商:歐波同有限公司 |
產(chǎn)品綜合介紹:
產(chǎn)品功能介紹
EBIC分析系統(tǒng),可以實(shí)時(shí)軟件控制全自動采集電子束感生電流(EBIC)信號,,獲得EBIC圖像信息,,還可以獲得IV曲線信息,*終可以測試PN結(jié)位置,,寬度,,少子擴(kuò)散長度,材料或器件的失效點(diǎn)定位,,廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體領(lǐng)域,。
品牌介紹
美國GATAN公司成立于1964年并于70年代末進(jìn)入中國市場。GATAN公司以其產(chǎn)品的高性能及技術(shù)的先進(jìn)性在全球電鏡界享有極高聲譽(yù),。
作為****的設(shè)計(jì)和制造用于增強(qiáng)和拓展電子顯微鏡功能的附件廠商,,其產(chǎn)品涵蓋了從樣品制備到成像、分析等所有步驟的需求,。產(chǎn)品應(yīng)用范圍包括材料科學(xué),、生命科學(xué)、地球物理學(xué),、電子學(xué),,能源科學(xué)等領(lǐng)域, 客戶范圍涵蓋全球的科研院所,,高校,,各類檢測機(jī)構(gòu)及大型工業(yè)企業(yè)實(shí)驗(yàn)室,并且在國際科學(xué)研究領(lǐng)域得到了廣泛認(rèn)同。
經(jīng)銷商介紹
歐波同有限公司是中國**的微納米技術(shù)服務(wù)供應(yīng)商,,是一家以外資企業(yè)作為投資背景的高新技術(shù)企業(yè),,總部位于香港,分別在北京,、上海,、遼寧、山東等地設(shè)有分公司和辦事處,。作為蔡司電子顯微鏡,、GATAN掃描電子顯微鏡制樣設(shè)備及附屬分析設(shè)備在中國地區(qū)重要的戰(zhàn)略合作伙伴,公司秉承“打造國內(nèi)影響力的儀器銷售品牌”的經(jīng)營理念,,與蔡司,,GATAN品牌強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合,正在為數(shù)以萬計(jì)的中國用戶提供高品質(zhì)的產(chǎn)品與國際尖端技術(shù)服務(wù),。
產(chǎn)品系統(tǒng)特點(diǎn):
高性能,、地噪聲EBIC系統(tǒng),進(jìn)行定量EBIC測量,。界面友好的智能分析軟件運(yùn)行于DigitalMicrograph軟件平臺,。
用于SEM的SmartEBIC 系統(tǒng)包括:
?計(jì)算機(jī)控制的、充電電池供電的EBIC放大器
?高級EBIC樣品座(ASH),,并配有可調(diào)節(jié)的鎢探針以進(jìn)行臺式接觸,。配以適當(dāng)?shù)?/span>Gatan適配器還可以通過空氣鎖來裝載試樣*
? 與SEM樣品臺接口
?鏈接插座及4個(gè)BNC型的電纜鏈接,低噪聲這空饋通,,適于EBIC和電子束流的測量
?具有Fireware技術(shù)的DigiScan II數(shù)字電子束控制系統(tǒng),。它包括兩個(gè)模擬輸入,可同時(shí)采集攝影質(zhì)量的圖像,,并可靈活控制像素強(qiáng)度,、每點(diǎn)駐留時(shí)間、掃描旋轉(zhuǎn)等,。對于某些SEM,,它還可以通過軟件通訊SEM的操作參數(shù)。
?配有先進(jìn)的SmartEBIC應(yīng)用插件的Digital Micrography軟件,,以進(jìn)行定量測量,、線性輪廓的實(shí)時(shí)和后處理分析
產(chǎn)品主要技術(shù)參數(shù):
SmartEBIC可以對EBIC信號進(jìn)行自動控制采集和定量分析:
掃描控制系統(tǒng):
1、1-, 2- or 4-比特?cái)?shù)據(jù)采集提供了超大的動態(tài)范圍
2,、從 16 x 1 至 8000 x 8000 像素掃描分辨率
3,、電子束停留時(shí)間,在0.5毫秒/像素到300毫秒/像素之間可調(diào)
4,、自動調(diào)節(jié)圖像顯示大小,,使得EBIC實(shí)驗(yàn)過程變得更方便
*5,、配置Digi-Scan控制器,實(shí)時(shí)軟件控制全自動采集,,可以在EBIC信號的采集時(shí)就對信號進(jìn)行定量分析,,無需附加的后處理,
*6,、不僅獲得EBIC圖像信息,,還可以獲得IV曲線信息。
噪音控制:
1. 特別設(shè)計(jì)的EBIC附屬樣品臺
2. 同軸繞線方式
3. 可重復(fù)使用的鉛酸電池 (15小時(shí)續(xù)航時(shí)間)
4. 可以改變放大器的增益,,從而**化數(shù)據(jù)采集的信噪比和帶寬
5. 兩種可選的一階RC濾波器 ,,低通或高通濾波
6. 低漂移放大模式
7. 在與PC通訊的時(shí)間以外,系統(tǒng)的微處理器會自動切換到睡眠狀態(tài)
8. 豐富的圖像處理工具,。包含銳化工具,、平滑工具和傅立葉變換工具等。
9. 可以適配與Lock-in技術(shù)(本系統(tǒng)并不提供,,這樣的配置系統(tǒng)將不會對EBIC信號定量分析)
追蹤:
通過軟件實(shí)現(xiàn),。在12bit(1.22mV)采集分辨率模時(shí)為+/-5V。
自動化:
即使在放大器參數(shù)設(shè)定欠佳的條件下,,系統(tǒng)也能自動優(yōu)化圖像的顯示大小,,從而提供更方便的圖像瀏覽
可以對放大器的偏移/增益進(jìn)行自動設(shè)置
軟件:
流程式一維擴(kuò)散長度測量
廣泛的面掃/線掃描分析工具,,包括數(shù)學(xué)分析工具,,濾波應(yīng)用等
廣泛的圖像顯示方案選項(xiàng),包括二次電子圖像與EBIC圖像的疊加
編程語言可助您為自己的實(shí)驗(yàn)編寫定制化軟件
產(chǎn)品主要應(yīng)用領(lǐng)域:
測試PN結(jié)位置,,寬度,,少子擴(kuò)散長度金屬材料
材料或器件的失效點(diǎn)定位
測試半導(dǎo)體材料的位錯密度
IV特性測試
應(yīng)用實(shí)例:
應(yīng)用一:測試PN結(jié)位置,寬度,,少子擴(kuò)散長度
應(yīng)用二:材料或器件的失效點(diǎn)定位
?
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