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賽默飛(原FEI)Prisma E SEM-環(huán)境掃描鎢燈絲電鏡
Prisma E SEM是一款高度靈活的掃描電子顯微鏡(SEM),在各種條件下都能有出色的全能性能,?;谄涞驼婵蘸铜h(huán)境掃描的SEM (ESEM)模式,它完全具備分析不導(dǎo)電,,含氣體、水分或其它非常規(guī)測(cè)試的樣品。
發(fā)射源:鎢燈絲(高性能電子光學(xué)鏡筒,,雙陽(yáng)極熱發(fā)射電子槍?zhuān)?/span>
分辨率:
高真空成像 3.0nm@ 30kV(SE);8.0 nm@ 3kV(SE)
低真空成像 3.0nm@ 30kV(SE),;4.0 nm@ 3kV(BSE),;10nm@ 3kV(SE)
環(huán)境掃描模式成像 3.0nm@ 30kV(SE)
放大倍數(shù):5 ~ 1,000,000×(寶麗來(lái)相紙放大)
加速電壓范圍:200V ~ 30kV
探針電流范圍:**可達(dá)到2μA,連續(xù)可調(diào),;
低真空范圍:高達(dá)130Pa,;
ESEM真空范圍:高達(dá)2600Pa(H2O)/4000Pa(N2);
X-Ray工作距離:10mm,,EDS檢出角35°
樣品室:從左至右為340mm寬的大存儲(chǔ)空間,,樣品室可拓展接口數(shù)量12個(gè),含能譜儀接口3個(gè)(其中2個(gè)處于180°對(duì)角位置)
樣品臺(tái):五軸優(yōu)中心全自動(dòng)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
X=110 mm,Y=110 mm,Z=65 mm,T=-15o~90o,R=360o (連續(xù)旋轉(zhuǎn))
多用途SEM樣品安裝載物臺(tái),,可同時(shí)放置 18 個(gè)標(biāo)準(zhǔn)樣品座(φ12mm)
**樣品高度不低于200mm
**樣品承重 5 kg
探測(cè)器系統(tǒng):
高真空二次電子探測(cè)器ETD
樣品室內(nèi)IR紅外相機(jī)CCD
低真空二次電子探測(cè)器LVD
氣體二次電子探測(cè)器GSED(環(huán)境真空)
控制系統(tǒng):
操作系統(tǒng):Windows 10
圖像顯示:24寸LCD顯示器,,**顯示分辨率1920×1200
支持用戶自定義的GUI,,可同時(shí)實(shí)時(shí)顯示四幅圖像
軟件支持Undo和Redo功能
特點(diǎn)與用途
☆ 方便快捷地加載多種樣品和重樣品;
☆ 基于Thermo ScientificTM Nav-CamTM相機(jī)和蒙太奇導(dǎo)航功能簡(jiǎn)化樣品導(dǎo)航,;
☆ 便捷性的用戶指南和撤消功能,;
☆ 先進(jìn)的掃描模式和電子束減速確保**的圖像質(zhì)量;
☆ Thermo ScientificTM ColorSEMTM技術(shù)下進(jìn)行直觀的元素分析,;
☆ 專(zhuān)用真空模式,,具備強(qiáng)大的樣品兼容性;
☆ 獨(dú)特的環(huán)境掃描模式能夠在材料的自然狀態(tài)下成像,;
☆ 可集成冷/熱臺(tái)進(jìn)行易于控制的動(dòng)態(tài)實(shí)驗(yàn),;
☆ 廣泛選擇的探測(cè)器和附件,包括掃描透射電 (STEM),、陰極發(fā)光,、圖像拼接等
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