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飛納電鏡為什么可以做到15s抽真空,，30s成像,？

復納科技 2024-12-13 | 閱讀：319

如之前【飛納電鏡：從飛利浦到賽默飛，是最“老”的電鏡,，也是最“新”的電鏡（上篇）】的介紹,，飛納電鏡繼承荷蘭飛利浦和 FEI 三倉分離和逐級抽真空專利設計，可以實現(xiàn) 15 秒抽真空 30 秒成像,，這是目前業(yè)界高效率的臺式掃描電鏡,，可謂是掃描電鏡中的“閃電俠”。

不同類型掃描電鏡操作所用時長對比圖

通過不同電鏡操作用時對比圖可知,，一方面是抽真空耗時,，傳統(tǒng)電鏡因為通倉的設計，載樣抽真空過程需要很長時間,，至少 3 分鐘的樣子,。隨著設備真正服役，真空系統(tǒng)復雜加之維護不到位,，這個等待時間只會越來越久,。另一方面 SEM 成像耗時，傳統(tǒng)電鏡操作界面復雜不說,，自動化智能功能嚴重不足,，很依賴于操作人員的熟練程度，一個小時往往能拍好 3 個樣品都算快的,。

就傳統(tǒng)電鏡抽真空耗時久這一痛點,，飛納電鏡是如何實現(xiàn)抽真空和成像如此之快呢？

PART1. 三倉分離真空設計

飛納電鏡從一開始就拋棄傳統(tǒng)的通倉設計,，別出心裁把燈絲倉,，光路倉和樣品倉“隔離”設計，燈絲倉和光路倉通過壓差光闌隔離,，光路倉和樣品倉通過“真空鎖”設計隔離,，渦輪分子泵分別對三倉室梯度抽真空，這樣切換樣品只破壞樣品倉真空,，整個換樣過程幾乎不會引起燈絲倉的真空變化,，從而保證燈絲倉真空環(huán)境一直穩(wěn)定在 10-5Pa，這也是保證晶體燈絲長壽命的前提條件,。

PART2. 樣品倉設計

傳統(tǒng)電鏡樣品倉大開門或者抽屜式設計,，不但會造成抽真空緩慢，而且樣品倉內各種探測器都暴露在空氣中,，樣品高度要調整,，這些都需要警惕否則都會帶來巨大損失,。而飛納電鏡真空鎖不單鎖住光路倉，還包括各種探測器,，進樣之前樣品高度做了限高防呆設計,，不存在任何誤操作得風險，大家可以安心使用,。

PART3. 自動進樣專利設計

飛納電鏡繼承荷蘭飛利浦和 FEI 進樣逐級抽真空設計,，一鍵轉移到 SEM，邊進樣邊抽真空,。在樣品倉到達預定真空度前,，光路倉可實現(xiàn)真空保持，而后自動加高壓,，自動調焦和自動調節(jié)亮度對比度（B/C）成像，整個過程一氣呵誠,，無需人工干預,，從進樣到清晰成像，1min 之內就可以自動完成,。