
復(fù)納科學(xué)儀器(上海)有限公司

已認(rèn)證
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Fastmicro 環(huán)境落塵顆粒實(shí)時(shí)監(jiān)控儀 PFS
Fastmicro 環(huán)境落塵顆粒實(shí)時(shí)監(jiān)控儀,,專為潔凈室顆粒沉積速率測(cè)量而研發(fā),,支持秒級(jí)間隔的數(shù)據(jù)采集,精準(zhǔn)測(cè)量 0.5 um 以上顆粒,。結(jié)合直觀易用的軟件系統(tǒng),,幫助客戶實(shí)現(xiàn)從單純空氣監(jiān)測(cè)向表面潔凈度監(jiān)測(cè)的跨越式升級(jí),為工藝流程優(yōu)化和潔凈度持續(xù)改進(jìn)提供科學(xué)依據(jù),。
產(chǎn)品特點(diǎn):
數(shù)據(jù)輸出及可視化:符合 ISO 14644-17 標(biāo)準(zhǔn)
高通量檢測(cè):可檢測(cè)低至 0.5 um 顆粒
快速:10 秒完成 2 英寸面積檢測(cè)
定量:適用于生產(chǎn)與研發(fā)環(huán)境的驗(yàn)證與監(jiān)測(cè)
生產(chǎn)過程中的一致性測(cè)量
快速: 秒級(jí)連續(xù)監(jiān)測(cè)
定量: 適用于生產(chǎn)與研發(fā)環(huán)境的驗(yàn)證與監(jiān)測(cè)
易操作: 操作員簡(jiǎn)單培訓(xùn)即可使用
精準(zhǔn): 高分辨率測(cè)量(數(shù)量,、時(shí)間線、位置,、尺寸)
一致性: 可重復(fù)的客觀測(cè)量結(jié)果
高吞吐量: 現(xiàn)場(chǎng)實(shí)時(shí)分析
監(jiān)測(cè)顆粒沉積速率(DPRL)
Fastmicro 環(huán)境落塵顆粒實(shí)時(shí)監(jiān)控儀(PFS)采用緊湊的工 業(yè)設(shè)計(jì),,依據(jù) ISO 14644-9 和 ISO 14644-17 標(biāo)準(zhǔn),監(jiān)測(cè)顆 粒沉積速率(DPRL),。該設(shè)備使工藝/質(zhì)量工程師能夠?qū)崟r(shí) 監(jiān)控潔凈室環(huán)境中關(guān)鍵區(qū)域的顆粒沉降情況,。
在關(guān)鍵區(qū)域?qū)崿F(xiàn)持續(xù)監(jiān)測(cè)
區(qū)別于傳統(tǒng)的僅監(jiān)測(cè)空氣懸浮顆粒,該系統(tǒng)可以對(duì)關(guān)鍵表 面的顆粒污染控制和潔凈度驗(yàn)證進(jìn)行持續(xù)監(jiān)測(cè),。 亞微米級(jí)顆粒并非始終懸浮于空氣中,,它們可能沉積于關(guān) 鍵表面,影響技術(shù)潔凈度與產(chǎn)品質(zhì)量,。
該儀器采用 2 英寸晶圓采集環(huán)境中的落塵顆粒,,并可每 隔 10 秒左右對(duì)晶圓表面的顆粒進(jìn)行連續(xù)粒子沉降監(jiān)測(cè)。 其檢測(cè)粒徑尺寸為 ≥0.5(通過 NIST 認(rèn)證),,并準(zhǔn)確量化 沉降速率,。 軟件界面簡(jiǎn)單直觀,可以一鍵生成報(bào)告,。
Fastmicro PFS 是 唯 一 一 款 高 精 度 原 位 檢 測(cè) 顆 粒 的 儀 器,,幫 助 工 程 師 應(yīng) 對(duì)潔凈工藝控制挑戰(zhàn),。
結(jié)合 Phenom XL 掃描電鏡,可以 便捷高效的進(jìn)一步對(duì)顆粒物進(jìn)行成分表征和溯源分析,。
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企業(yè)名稱
復(fù)納科學(xué)儀器(上海)有限公司企業(yè)類型
有限責(zé)任公司(自然人投資或控股)信用代碼
91310115594714659N法人代表
樊麗麗注冊(cè)地址
上海市閔行區(qū)申濱路88號(hào)704單元成立日期
2012-04-19注冊(cè)資本
500萬(元)有效期限
2012-04-19 至 2042-04-18經(jīng)營范圍
一般項(xiàng)目:儀器儀表,、實(shí)驗(yàn)室設(shè)備、電子產(chǎn)品及相關(guān)零配件的研發(fā)和銷售,;從事儀器儀表技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)開發(fā),、技術(shù)推廣、技術(shù)咨詢,、技術(shù)轉(zhuǎn)讓,、技術(shù)服務(wù)、技術(shù)交流,;貨物進(jìn)出口,;技術(shù)進(jìn)出口;信息咨詢服務(wù)(不含許可類信息咨詢服務(wù)),。(除依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目外,,憑營業(yè)執(zhí)照依法自主開展經(jīng)營活動(dòng))
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