日韩av在线高清免费毛片日韩欧美一级成人|女人18以后毛片|国产18女人毛多水多毛片|乱系列人妻视频|中文字幕久久熟女人妻av|91麻豆人妻|校花被我玩弄|父女乱荡|高潮videossex潮喷另类|日本在线观看人妻,黑人侵犯日本人妻,色哟哟视频线在线播放欧美,亚洲欧美国产国产一区第二页

手機版

掃一掃,,手機訪問

關(guān)于我們 加入收藏

復(fù)納科學(xué)儀器(上海)有限公司

5 年金牌會員

已認證

撥打電話
獲取底價
提交后,,商家將派代表為您專人服務(wù)
立即發(fā)送
點擊提交代表您同意 《用戶服務(wù)協(xié)議》
當(dāng)前位置:
復(fù)納科技 >技術(shù)文章 >

AFM-SEM聯(lián)用技術(shù):半導(dǎo)體失效分析新突破(文末網(wǎng)絡(luò)研討會預(yù)告)

AFM-SEM聯(lián)用技術(shù):半導(dǎo)體失效分析新突破(文末網(wǎng)絡(luò)研討會預(yù)告)
復(fù)納科技  2025-05-22  |  閱讀:229

半導(dǎo)體是現(xiàn)代電子產(chǎn)品的基礎(chǔ),,支撐著從計算到數(shù)據(jù)存儲的一切功能。隨著器件尺寸縮小且結(jié)構(gòu)日益復(fù)雜,,精準(zhǔn)的失效分析變得至關(guān)重要,。

AFM-in-SEM 失效分析:該技術(shù)直接集成于 FIB / SEM(聚焦離子束 / 掃描電鏡)環(huán)境,能夠在納米尺度下對半導(dǎo)體元件進行原位,、特定位置的電學(xué)與形貌表征,。它提供精確的電導(dǎo)率映射和摻雜分布分析,同時保持樣品完整性,。

?  核心優(yōu)勢

  • 特定位置的失效分析: 利用 SEM 精確定位,,結(jié)合高分辨率電導(dǎo)率與摻雜分布映射。.

  • 無縫真空工作流: 與現(xiàn)有失效分析工具完全兼容,,避免表面氧化和污染,。.

  • 探針保護與優(yōu)化接觸: 探針塢(Docking Station)在FIB銑削時保護 AFM 探針; 樣品旋轉(zhuǎn)功能優(yōu)化接觸角度,,適應(yīng)復(fù)雜幾何結(jié)構(gòu),。

  • 省時與成本效益: 集成化方案減少單樣品測量時間,加速研發(fā)進程,。

 

01AFM-in-FIB / SEM 的失效分析流程

 

  1. 樣品制備:使用 FIB 暴露缺陷區(qū)域,。

  2. AFM 導(dǎo)航分析:在 SEM 引導(dǎo)下,AFM 探針定位目標(biāo)區(qū)域進行高分辨率電學(xué)表征(如 C-AFM 或 SSRM),。

  3. 數(shù)據(jù)關(guān)聯(lián):將結(jié)果與 SEM 技術(shù)關(guān)聯(lián)(必要時校準(zhǔn)),,全面理解失效機制。

 

 

逐層剝離(Delayering): 通過 PFIB 逐層剝離材料,,每層進行局部電導(dǎo)率分析,,從而精確獲取不同深度的單層結(jié)構(gòu)信息,。

校準(zhǔn): 對已知摻雜濃度的參考樣品進行電阻測量,測得的電阻隨后與摻雜水平相關(guān)聯(lián),,生成校準(zhǔn)曲線以定量分析摻雜濃度,。

 

02NAND 結(jié)構(gòu)的原位電學(xué)失效分析

 

通過 AFM-in-FIB/SEM 技術(shù),對 NAND 結(jié)構(gòu)中的特定通孔進行以下分析:

  • 識別通孔:使用等離子聚焦離子束(PFIB)逐層剝離材料

  • 電學(xué)分析:導(dǎo)電原子力顯微鏡(C-AFM)映射:顯示不同深度節(jié)點的電導(dǎo)異常

  • I/V譜分析:通過單通孔的電流-電壓曲線診斷失效

  • 實時監(jiān)控:在逐層剝離過程中實時觀察,,確保精確鎖定目標(biāo)通孔

 

 

03MOSFET 晶體管的特定位置摻雜濃度分析

 

 

SEM 全局成像:我們采用掃描擴展電阻顯微鏡(SSRM)結(jié)合掃描電子顯微鏡(SEM),,對半導(dǎo)體器件中的摻雜濃度進行了分析,實現(xiàn)了高分辨率,、針對特定位置的電學(xué)特性表征。

原位 SEM-SSRM 測量:在納米尺度下映射摻雜濃度,,通過將掃描電鏡(SEM)成像與局部電學(xué)特性相結(jié)合,,我們能夠精確識別出摻雜濃度的空間差異,這些差異對器件的性能表現(xiàn)及可靠性具有決定性影響,。

對 SiC MOSFET 的意義:直接表征摻雜層和結(jié)區(qū),,并分析器件結(jié)構(gòu)的精確形狀、尺寸與深度參數(shù),。確保導(dǎo)電性優(yōu)化,,減少能量損耗,提升器件可靠性與性能,。

 

04網(wǎng)絡(luò)研討會直播預(yù)告

 

更多案例分析,,敬請關(guān)注 2025 年 5 月 28 日《芯片內(nèi)部: AFM-SEM 聯(lián)用技術(shù)在電子半導(dǎo)體失效分析中的應(yīng)用》研討會。

 



虛擬號將在 秒后失效

使用微信掃碼撥號

為了保證隱私安全,平臺已啟用虛擬電話,,請放心撥打(暫不支持短信)
留言咨詢
(我們會第一時間聯(lián)系您)
關(guān)閉
留言類型:
     
*姓名:
*電話:
*單位:
Email:
*留言內(nèi)容:
(請留下您的聯(lián)系方式,以便工作人員及時與您聯(lián)系?。?/div>