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復納科學儀器（上海）有限公司
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Fastmicro 掩膜版｜保護膜表面顆粒物快速檢測系統(tǒng)（PDS）
為掩膜版,、掩膜版保護膜以及基板（襯底）制造工藝,，提供高通量的表面顆粒污染檢測服務,。
該系統(tǒng)對粒徑大于 0.1μm 的顆粒具有高靈敏度,，是一種高效且提供全方位服務的選擇,。它能以手動或自動的操作方式,，以及較低的維護成本,，取代傳統(tǒng)的顆粒檢測系統(tǒng)。
產(chǎn)品特點：
高通量檢測：每小時可檢測 400 片晶圓（WPH）
數(shù)據(jù)輸出：根據(jù) ISO 14644-9 標準，在用戶界面和 PDF 報告輸出 SCP 等級
正反兩面檢測：單次測量中完成正反兩面檢測（無需翻轉）
檢測范圍：能夠檢測 ≥ 0.1μm 聚苯乙烯乳膠（PSL）等效顆粒（經(jīng) NIST 認證）
生產(chǎn)過程中的一致性測量
快速: 能在數(shù)秒內完成大面積成像
定量: 適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境中的質量鑒定與監(jiān)測
操作簡便: 不受操作人員影響,，自動化,，潔凈抓取方式
精準: 高分辨率測量（數(shù)量、位置,、尺寸）
一致性: 每次測量都保持客觀,、穩(wěn)定
高通量: 能在工藝時間窗口內得出結果
FM-PDS: 直接檢測表面顆粒
該系統(tǒng)可為晶圓制造工藝、下一代化合物半導體以及先進封裝應 用,，提供高通量的表面顆粒污染檢測服務,。
該系統(tǒng)對粒徑大于 0.1μm 的顆粒具有高靈敏度，是一種高 效且提供全方位服務的選擇,。
它能以手動或自動的操作方式,，以及 較低的維護成本，取代傳統(tǒng)的顆粒檢測系統(tǒng),。
對于下一代半導體生產(chǎn)應用,， PDS 系統(tǒng)具備獨特的屬性：雙面同 時掃描（選配）；
靜態(tài)視場掃描（在圖像采集過程中無需移動產(chǎn)品）,。
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企業(yè)名稱
復納科學儀器（上海）有限公司企業(yè)類型
有限責任公司(自然人投資或控股)信用代碼
91310115594714659N法人代表
樊麗麗注冊地址
上海市閔行區(qū)申濱路88號704單元成立日期
2012-04-19注冊資本
500萬(元)有效期限
2012-04-19 至 2042-04-18
經(jīng)營范圍
一般項目：儀器儀表,、實驗室設備,、電子產(chǎn)品及相關零配件的研發(fā)和銷售；從事儀器儀表技術領域內的技術開發(fā),、技術推廣,、技術咨詢、技術轉讓,、技術服務,、技術交流,；貨物進出口；技術進出口,；信息咨詢服務（不含許可類信息咨詢服務）,。（除依法須經(jīng)批準的項目外，憑營業(yè)執(zhí)照依法自主開展經(jīng)營活動）
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