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全新發(fā)布的 AFM-in-Phenom XL 結合了掃描電子顯微鏡 (SEM) 和原子力顯微鏡 (AFM) 的優(yōu)勢，實現了在同一系統(tǒng)中對樣品進行多模態(tài)（SEM 及 AFM 形貌,、元素,、機械、電學,、磁學）關聯(lián)分析,。

· 設備掃描范圍（開環(huán)）：100μm×100μm×20μm

· 設備掃描范圍（閉環(huán)）：80μm×80μm×16μm

· 分辨率：0.2nm×0.2nm×0.04nm

· **樣品尺寸：21mm×11mm×8mm

· **樣品重量：100g

· 成像模式：表面形貌和粗糙度,、CAFM、KPFM,、FMM,、PFM、EFM,、F-z curves,、I-V curves等