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磁性材料樣品在掃描電子顯微鏡（SEM）中的觀察可能會受到其自身磁性的影響,，這種影響主要集中在儀器的正常運行和成像質(zhì)量上。

磁性材料

物質(zhì)按照其內(nèi)部結(jié)構(gòu)及其在外磁場中的性狀可分為抗磁性,、順磁性,、鐵磁性、反鐵磁性和亞鐵磁性物質(zhì),。鐵磁性和亞鐵磁性物質(zhì)為強磁性物質(zhì),，抗磁性和順磁性物質(zhì)為弱磁性物質(zhì)。

磁性材料按照用途,，主要可以分為永磁材料,、軟磁材料和磁致伸縮、磁制冷材料等。

掃描電鏡在磁性材料中的應用

稀土永磁  

• 燒結(jié)磁體：速凝帶,、粉末顆粒,、磁體晶粒大小形狀以及境界相的分布

• 熱壓磁體：快淬帶、磨粉顆粒,、磁體晶粒及晶界相分布

• 粘接磁體,；造粒、磁體顆粒及粘接劑的分布

飛納電鏡下的燒結(jié) NdFeB

飛納電鏡下的燒結(jié) NdFeB 速凝帶

磁性樣品對掃描電鏡的影響

磁性材料產(chǎn)生的磁場會干擾電子束的聚焦,，影響束斑形狀,，引起圖像模糊變形，稱為象散變化,。

掃描電鏡的物鏡和掃描線圈都是通過電磁場控制的,，磁性樣品有磁場存在，會造成磁場疊加,，疊加的磁場可能不均勻,，使得物鏡磁場偏離軸心對稱，導致束斑變形,，造成象散,。疊加的磁場影響掃描線圈的交變磁場，影響掃描區(qū)域的大小,，造成放大倍數(shù)不準,。

解決方案

• 象散矯正

所有掃描電鏡都會提供調(diào)整象散的功能。一般情況下,，掃描電鏡可以存儲大多數(shù)樣品有效的標準值,，但部分設備要求用戶每次都要調(diào)整象散。

該功能提供額外的電磁場用于矯正變形的電子束,，當束斑回歸圓形時,，可以產(chǎn)生最佳圖像。

更改象散時,，可能需要再次微調(diào)焦點,。

• 消磁

對于部分永磁材料，過強的剩磁不僅會影響成像,，而且會對掃描電鏡的硬件產(chǎn)生干擾,，甚至損壞。因此這類永磁材料的觀測一定要在其退磁態(tài)進行,，一般可以采用熱退磁方法,，將磁體加熱到居里溫度以上 100 攝氏度，并保溫超過半個小時以上,，使磁性完全消除