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設備名稱：鈣鈦礦太陽能電池蒸發(fā)設備（鍍膜機+手套箱復合型）
設備型號：ZHDS400
鍍膜方式：金屬 + 有機/無機蒸發(fā)
真空腔室結構：SUS304 方箱式,，配有前,、后門
真空腔室尺寸：L400mmxW440mmxH450mm
加熱溫度：室溫-300℃（選配）
基片臺尺寸：抽屜式：120mmx120mm可旋轉、升降,、水冷
膜厚不均勻性：≤±5.0%（120mmx120mm范圍內）
蒸發(fā)源：金屬 2 組 + 有機 4 組或更多,，有機配溫控式加熱電源，金屬電源 （國產(chǎn)或進口）
晶振膜厚監(jiān)控儀：國產(chǎn)或進口（可選）
控制方式：PLC/PC 控制 ( 可選 )
占地面積：L2500mmxW1600mmxH1900mm( 不含手套箱 )
總功率：≥ 10kW 三相五線制

1. 技術先進,、設計優(yōu)化,，性價比高，性能穩(wěn)定,，使用維護成本低,。

2. 適用于蒸發(fā)/磁控濺射與手套箱環(huán)境有機融合,，實現(xiàn)制備、封裝,、測試等工藝無縫對接,，廣泛用于鈣鈦礦太陽能電池 /OPV 有機太陽能電池及 OLED薄膜等研究系統(tǒng)等。

3. 鈣鈦礦蒸鍍適用范圍：有機材料,，常見如C60,、BCP制備電子傳輸層。無機材料,，如LiF,、MgF 制備鈣鈦礦層修飾層，金屬材料,，如Cu,制備背電極,。