參考價(jià)格
面議型號(hào)
rca清洗機(jī)品牌
芯矽科技產(chǎn)地
蘇州樣本
暫無(wú)壓電變頻能量轉(zhuǎn)換器：
根據(jù)客戶需求定制超聲功率：
根據(jù)客戶需求定制處理容量（L）：
根據(jù)客戶需求定制溫度范圍：
根據(jù)客戶需求定制定時(shí)器范圍：
根據(jù)客戶需求定制適用物料：
根據(jù)客戶需求定制功率（kw）：
根據(jù)客戶需求定制重量（kg）：
根據(jù)客戶需求定制規(guī)格外形（長(zhǎng)*寬*高）：
根據(jù)客戶需求定制看了rca清洗機(jī)臺(tái) 芯矽科技的用戶又看了
留言詢價(jià)
虛擬號(hào)將在 180 秒后失效
使用微信掃碼撥號(hào)
一,、RCA清洗機(jī)臺(tái)概述
RCA清洗機(jī)臺(tái)是半導(dǎo)體制造中用于晶圓表面清潔的關(guān)鍵設(shè)備,，基于標(biāo)準(zhǔn)RCA工藝（Radio Corporation of America清洗法），通過(guò)化學(xué)腐蝕與物理沖洗結(jié)合的方式,，去除晶圓表面的有機(jī)物,、金屬離子和氧化物。其核心工藝包括SC-1（堿性過(guò)氧化氫溶液）,、SC-2（酸性過(guò)氧化氫溶液）和DHF（稀氫氟酸）三步,，適用于前道制程（如光刻、蝕刻前清洗）和后道封裝（如存儲(chǔ)卡匣清潔）,。
二,、核心技術(shù)特點(diǎn)
多工藝兼容性
支持RCA、IMEC,、Pre-Diffusion,、Pre-Metal等多種清洗配方，適應(yīng)不同污染類(lèi)型（顆粒,、金屬,、氧化物）。
可選配兆聲波清洗（>1MHz超聲波）,，減少對(duì)精密結(jié)構(gòu)的損傷,，適用于3D NAND、先進(jìn)封裝等場(chǎng)景,。
高精度控制與自動(dòng)化
PLC+觸摸屏控制：實(shí)現(xiàn)溫度（±1℃）,、時(shí)間、流速等參數(shù)精準(zhǔn)調(diào)節(jié),，支持自動(dòng)/手動(dòng)模式切換,。
機(jī)械手傳輸系統(tǒng)：前置式機(jī)械臂定位精度高，配備雙重限位卡控,，支持倒車(chē)功能與拋動(dòng)機(jī)構(gòu)（頻率可調(diào)）,。
數(shù)據(jù)追溯與遠(yuǎn)程監(jiān)控：實(shí)時(shí)記錄工藝參數(shù)（槽溫、運(yùn)行時(shí)間,、報(bào)警信息），支持USB導(dǎo)出數(shù)據(jù),，兼容MES系統(tǒng)對(duì)接,。
材料與安全性設(shè)計(jì)
耐腐蝕材質(zhì)：槽體可選石英、PTFE、PVDF,、SUS 316等材質(zhì),，適應(yīng)HF、H?O?等強(qiáng)腐蝕性化學(xué)液,。
安全防護(hù)：配備自動(dòng)安全門(mén),、漏液報(bào)警、漏電保護(hù),、緊急停機(jī)按鈕,，電氣部分采用正壓N?保護(hù)，防止腐蝕,。
排風(fēng)與環(huán)保：模塊化排風(fēng)系統(tǒng)（自動(dòng)/手動(dòng)風(fēng)閥）,，酸堿廢氣分開(kāi)處理，減少污染35,。
高效清洗與干燥
多槽聯(lián)動(dòng)設(shè)計(jì)：化學(xué)浸泡→超聲波清洗→噴淋漂洗→熱氮烘干（或IPA脫水）,，全流程閉環(huán)控制。
干燥技術(shù)：高溫離子風(fēng)或真空干燥,，避免水漬殘留,，兼容低溫工藝需求。
三,、設(shè)備組成與結(jié)構(gòu)
核心模塊
清洗槽：根據(jù)工藝需求配置單片盒或雙片盒結(jié)構(gòu),，支持溢流槽（四面溢流）、快速排放槽（QDR）,。
溫控系統(tǒng)：加熱溫度可達(dá)200℃,，配備冰水盤(pán)管冷卻，確保槽內(nèi)溫度穩(wěn)定性,。
流體分配系統(tǒng)：循環(huán)泵,、過(guò)濾器（0.1μm顆粒過(guò)濾）、噴淋臂,，保證化學(xué)液均勻分布,。
傳輸與機(jī)械手
機(jī)械手臂采用防腐蝕處理（耐酸/堿/有機(jī)溶劑），支持6寸至12寸晶圓傳輸,，可定制拋動(dòng)功能提升清洗均勻性,。
傳輸方式：PLC控制左右移動(dòng)+上下運(yùn)行，具備倒車(chē)功能,。
輔助系統(tǒng)
排風(fēng)系統(tǒng)：調(diào)風(fēng)板+風(fēng)腔設(shè)計(jì),，防止水汽凝結(jié)，可選自動(dòng)/手動(dòng)風(fēng)閥,。
藥液管理：自動(dòng)供液,、補(bǔ)液,、循環(huán)過(guò)濾，支持電導(dǎo)率檢測(cè)與換液提示功能,。
安全裝置：液位保護(hù),、氣體壓力監(jiān)測(cè)（N?/CDA）、漏液報(bào)警等,。
四,、應(yīng)用場(chǎng)景
半導(dǎo)體制造
前道制程：光刻前晶圓清洗、蝕刻后金屬污染去除,、擴(kuò)散/沉積前表面處理,。
后道封裝：存儲(chǔ)卡匣（FOUP）清潔、老化載具翻新,。
其他領(lǐng)域
光學(xué)鍍膜：清洗光學(xué)元件（如透鏡,、濾光片），提升鍍膜質(zhì)量,。
材料研究：實(shí)驗(yàn)室級(jí)石英舟,、爐管清潔，確保實(shí)驗(yàn)準(zhǔn)確性,。
五,、技術(shù)參數(shù)
| 參數(shù)類(lèi)別 | 參數(shù)詳情 |
|---|---|
| 兼容晶圓尺寸 | 2寸—12寸（可定制15寸以上） |
| 清洗工藝 | SC-1、SC-2,、DHF,、SPM、BOE,、超聲清洗等5 |
| 溫控精度 | ±1℃（加熱溫度**200℃） |
| 干燥方式 | 熱氮烘干,、IPA脫水或真空干燥 |
| 電源/氣源 | AC 380V±38V（三相五線），N?/CDA壓力0.25—0.3MPa45 |
| 安全等級(jí) | SEMI S8/S2合規(guī),，防爆設(shè)計(jì),，泄漏檢測(cè)與急停功能35 |
| 數(shù)據(jù)記錄 | 存儲(chǔ)工藝參數(shù)（程序號(hào)、操作者,、溫度,、時(shí)間、報(bào)警信息）,，支持USB導(dǎo)出5 |
暫無(wú)數(shù)據(jù),！
rca清洗機(jī)臺(tái) 芯矽科技的工作原理介紹,？rca清洗機(jī)臺(tái) 芯矽科技的使用方法,？rca清洗機(jī)臺(tái) 芯矽科技多少錢(qián)一臺(tái),？rca清洗機(jī)臺(tái) 芯矽科技使用的注意事項(xiàng)rca清洗機(jī)臺(tái) 芯矽科技的說(shuō)明書(shū)有嗎,？rca清洗機(jī)臺(tái) 芯矽科技的操作規(guī)程有嗎？rca清洗機(jī)臺(tái) 芯矽科技的報(bào)價(jià)含票含運(yùn)費(fèi)嗎,？rca清洗機(jī)臺(tái) 芯矽科技有現(xiàn)貨嗎,？rca清洗機(jī)臺(tái) 芯矽科技包安裝嗎？
手機(jī)版：
工商已核實(shí)
