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芯矽科技產(chǎn)地
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為半導(dǎo)體晶圓存儲容器（FOUP）設(shè)計的自動化清洗設(shè)備，通過多槽化學(xué)清洗,、超聲波空化,、噴淋漂洗、干燥等工藝,，高效去除FOUP表面的油污,、顆粒、氧化物及工藝殘留物,，適用于半導(dǎo)體制造,、封裝測試、先進研發(fā)實驗室等場景,，滿足ISO 14644 Class 10潔凈度要求,。
核心優(yōu)勢
全自動智能化清洗
機器人上下料：集成機械臂自動抓取FOUP，實現(xiàn)全程無人化操作,；
多槽聯(lián)動設(shè)計：化學(xué)清洗→超聲波清洗→噴淋漂洗→熱風(fēng)干燥,，全流程閉環(huán)控制；
工藝參數(shù)可調(diào)：通過PLC+觸摸屏編程,，精準設(shè)置溫度（20°C-80°C）,、時間、超聲波頻率等參數(shù),。
高精度潔凈度保障
UF級超純水漂洗：配備0.1μm顆粒過濾器,，杜絕二次污染；
PFA/PTFE耐腐蝕槽體：兼容HF,、H2O2,、DI Water等化學(xué)液，適應(yīng)嚴苛清洗環(huán)境；
顆粒去除率≥99.99%：殘留物≤0.03μm,，滿足先進制程需求（如5nm以下芯片）,。
高效節(jié)能與安全合規(guī)
化學(xué)液循環(huán)系統(tǒng)：減少耗材消耗，降低運行成本,；
低溫干燥技術(shù)：避免FOUP變形或材質(zhì)損傷,；
SEMI S8/S2認證：防爆設(shè)計、泄漏檢測,、緊急停機功能,，確保操作安全。
靈活適配性
兼容多種FOUP規(guī)格：支持12英寸,、14英寸標準盒及定制尺寸,；
模塊化設(shè)計：可增配UV光照消毒、真空干燥等模塊,，滿足特殊需求,。
技術(shù)參數(shù)
| 參數(shù)類別 | 參數(shù)詳情 |
|---|---|
| 清洗對象 | 半導(dǎo)體FOUP（前開式統(tǒng)一晶圓盒）、存儲卡匣,、載具 |
| 兼容尺寸 | 12英寸,、14英寸標準FOUP，可定制15英寸以上或異形盒體 |
| 清洗工藝 | 化學(xué)浸泡,、超聲波清洗（頻率20-40kHz）,、噴淋漂洗、熱風(fēng)/真空干燥 |
| 清洗精度 | 顆粒去除率≥99.99%,，殘留物≤0.03μm |
| 控制方式 | PLC+人機界面（HMI）,，支持遠程監(jiān)控與數(shù)據(jù)追溯 |
| 安全等級 | SEMI S8/S2合規(guī)，防爆設(shè)計（可選）,，化學(xué)液泄漏應(yīng)急處理系統(tǒng) |
| 電源/氣源 | AC 380V/50Hz,，N2/CDA/DI Water（根據(jù)工藝需求配置） |
應(yīng)用場景
半導(dǎo)體制造：
光刻機配套FOUP清洗，避免光刻膠殘留污染晶圓,；
蝕刻后FOUP去污,，防止交叉污染；
封裝前FOUP清潔,，提升芯片封裝良率,。
封裝測試（OSAT）：
存儲卡匣清洗，確保多批次晶圓運輸?shù)臐崈舳龋?/p>
老化FOUP翻新,，延長設(shè)備使用壽命,。
科研機構(gòu)與實驗室：
先進制程研發(fā)中FOUP的清潔驗證；
第三代半導(dǎo)體（SiC/GaN）材料存儲容器清洗,。
暫無數(shù)據(jù)！
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