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面議型號(hào)
HVPE長晶爐品牌
山東力冠產(chǎn)地
山東樣本
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襯底:2/4/6/8英寸
Substrate size :2/4/6/8 inches 基板サイズ：２/4/6/８インチ
數(shù)量:1片/多片
Quantity:1pcs/multiple pcs 數(shù)量：１枚/複數(shù)枚
控溫精度:精度高,，溫區(qū)穩(wěn)定性好
Temperature control precision : High temperature
control precision and good statlity in temperature zone
溫度制御精度：高精密度、溫度帯での安定性が高い
結(jié)構(gòu):立式/臥式可選,，滿足多種尺寸襯底多種
操作方式需要
Structure: Vtica/horizontal structual is optional,can meet theneeds of customerswith various sizes ofsubstrates and variousoperation modes.
構(gòu)造：縦型/橫型(オプション),、複數(shù)の基板サイズ及び動(dòng)作モードのニーズに対応
安全保護(hù)功能:硬件保護(hù)+軟件互鎖
Security protection: Hardware protection+software interlock
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