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電阻式PVT AlN生長(zhǎng)設(shè)備是自主研發(fā)的電阻法加熱晶體生長(zhǎng)爐，具有高穩(wěn)定性,、高真空度和精確控制系統(tǒng)的AlN晶體生長(zhǎng)系統(tǒng),，適用于商業(yè)化批量生長(zhǎng)大尺寸AlN晶體，可實(shí)現(xiàn)AlN晶體的同質(zhì)和異質(zhì)外延生長(zhǎng),。
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