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氮化鋁(AlN)是共價(jià)鍵化合物,原子晶體,,屬類(lèi)金剛石氮化物,、六方晶系,纖鋅礦型的晶體結(jié)構(gòu),,無(wú)毒,,呈白色或灰白色,理論密度3.26g/cm3,。 | |
氮化鋁材料具有如下特性: | ![]() |
(1)高熱導(dǎo)率 (理論值約320W/m·K),; (2)高絕緣性; (3)低熱膨脹系數(shù)(4.5×10-6℃)與Si(3.5~4×10-6℃)和GaAs(6×10-6℃)匹配,; (4)電性能優(yōu)良(介電常數(shù),、介質(zhì)損耗、體電阻率,、介電強(qiáng)度),; (5)機(jī)械性能好; (6)耐腐蝕性好; (7)光傳輸特性好; | |
氮化鋁陶瓷已成為新一代大規(guī)模集成電路,、半導(dǎo)體模塊及大功率器件的理想的散熱和封裝材料,大量應(yīng)用于HBLED,、UVLED封裝,、大功率集成電路、功率模塊,、RF射頻/微波通訊,、汽車(chē)電子、微電子半導(dǎo)體,、影像傳輸?shù)阮I(lǐng)域,。 | |
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