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水平式長晶爐
水平式長晶爐

參考價格

面議

型號

水平式長晶爐

品牌

中科漢達

產地

遼寧

樣本

暫無
沈陽中科漢達科技有限公司

高級會員

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第1年

|

生產商

工商已核實

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核心參數(shù)
  • 非金屬電熱元件:

    其他
  • 金屬電熱元件:

    其他
  • 燒結氣氛:

    其他
  • 溫控精度:

    -
  • 最高溫度:

    1100℃
  • 額定溫度:

    -
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HVPE生長系統(tǒng)是自主研發(fā)的一臺功能強大,耐用,,可靠的氣相外延生長系統(tǒng),,適用于大尺寸、高質量商業(yè)化GaN的同質/異質外延生產,。內置新研發(fā)的控制系統(tǒng)和多溫區(qū)加熱系統(tǒng),,支持配方功能,方便工藝參數(shù)調用及儲存,,設備結構簡單,,操作方便,實用性強,,能夠滿足大規(guī)模體塊GaN的商業(yè)化生產需求。

技術參數(shù)

生長工藝

HVPE法

產品類型

非標定制

加熱方式

電阻式加熱/感應式加熱

**溫度

1100℃

恒溫區(qū)尺寸

100mm

控制方式

PLC集成控制

系統(tǒng)真空檢漏漏率

≤5.0×10-7 Pa.l/S

冷卻方式

循環(huán)水路系統(tǒng)


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