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其他金屬電熱元件：
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HVPE生長系統(tǒng)是自主研發(fā)的一臺功能強大,，耐用，可靠的氣相外延生長系統(tǒng),，適用于大尺寸,、高質量商業(yè)化GaN的同質/異質外延生產(chǎn)。內(nèi)置新研發(fā)的控制系統(tǒng)和多溫區(qū)加熱系統(tǒng),，支持配方功能,，方便工藝參數(shù)調(diào)用及儲存，設備結構簡單,，操作方便,，實用性強，能夠滿足大規(guī)模體塊GaN的商業(yè)化生產(chǎn)需求,。
技術參數(shù) | |
生長工藝 | HVPE法 |
產(chǎn)品類型 | 非標定制 |
加熱方式 | 電阻式加熱/感應式加熱 |
**溫度 | 1100℃ |
恒溫區(qū)尺寸 | 100mm |
控制方式 | PLC集成控制 |
系統(tǒng)真空檢漏漏率 | ≤5.0×10-7 Pa.l/S |
冷卻方式 | 循環(huán)水路系統(tǒng) |
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