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全自動(dòng)晶圓槽式清洗機(jī) KT-3000T
全自動(dòng)晶圓槽式清洗機(jī) KT-3000T

參考價(jià)格

面議

型號(hào)

全自動(dòng)晶圓槽式清洗機(jī) KT-3000T

品牌

江蘇晶工

產(chǎn)地

江蘇

樣本

暫無(wú)
江蘇晶工半導(dǎo)體設(shè)備有限公司

高級(jí)會(huì)員

|

第1年

|

生產(chǎn)商

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產(chǎn)品說(shuō)明


全自動(dòng)槽式晶圓清洗機(jī)KT-3000T為半導(dǎo)體晶圓材料的濕法清洗設(shè)備,,用于清洗晶圓表面及背面的顆粒、金屬污染物以及其他有機(jī)物,,兼容4-6英寸和6-8英寸的晶圓。設(shè)備采用高效機(jī)械手,,重復(fù)定位精度高,、產(chǎn)能高。工藝參數(shù)數(shù)字化控制,,自由編制,、修改、儲(chǔ)存,、調(diào)用工藝程序,。


產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)


  • 靈活

  • ① 可清洗4-6英寸和6-8英寸不同材料的晶圓

    ② 可同時(shí)連續(xù)清洗10個(gè)制程,每個(gè)制程25片晶圓

  • 安全

  • 清洗過(guò)程花籃在密閉環(huán)境內(nèi)流轉(zhuǎn)防止酸堿氣霧外溢到實(shí)驗(yàn)室環(huán)境

  • 數(shù)字化控制

  • ① 具備5種清洗藥液的儲(chǔ)存及自動(dòng)混合添加,、補(bǔ)充藥液功能

    ② 各工藝槽具備自動(dòng)配,、供、補(bǔ)液功能

  • 定制化

  • 根據(jù)客戶工藝要求定制槽體數(shù)量

  • 應(yīng)用工序多

  • 適用于預(yù)清洗,、去膠清洗,、RCA清洗、擴(kuò)散前/后清洗,、外延清洗等


產(chǎn)品規(guī)格


項(xiàng)目

參數(shù)

型號(hào)

KT-3000T

晶圓尺寸

4-6英寸和6-8英寸

加工數(shù)量

25pcs/次或50pcs/次

晶圓厚度

320-1000um

傳送方式

高效機(jī)械臂自動(dòng)傳送

槽體數(shù)量

根據(jù)客戶工藝要求定制

設(shè)備尺寸和重量

根據(jù)客戶工藝要求定制

清洗工藝

上片→SPM→HQDR→DHF→QDR→SC1→QDR→SC2→QDR→干燥-下片(根據(jù)客戶工藝要求更改)

配液功能

系統(tǒng)自動(dòng)混合配備,、供給,、補(bǔ)充

藥液濃度檢測(cè)

根據(jù)客戶要求配置

兆聲清洗

根據(jù)客戶要求配置

晶圓清洗面

背面及正面

干燥方式

氮?dú)夂娓?/p>


創(chuàng)新點(diǎn)

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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價(jià)比

10分
評(píng)論內(nèi)容
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