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輪廓儀WEP-200E品牌
江蘇晶工產(chǎn)地
江蘇樣本
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產(chǎn)品說(shuō)明
輪廓儀WEP-200E為半導(dǎo)體晶圓材料的邊形檢測(cè)設(shè)備,，主要用于對(duì)倒角后的晶圓邊緣進(jìn)行輪廓檢測(cè),，確保晶圓倒角后能達(dá)到客戶要求的工藝精度。該設(shè)備采用非接觸式測(cè)量方式,，可測(cè)量邊緣倒角形狀,、面幅、邊緣崩邊情況等,?？勺詣?dòng)存儲(chǔ)測(cè)量結(jié)果，需要時(shí)可隨意導(dǎo)出測(cè)量數(shù)據(jù),，專業(yè)化水平高,，適用于2/3/4/5/6/8/12寸不同材料的晶圓。
產(chǎn)品技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)
以下圖R型倒角為例：面幅度X1,、X2測(cè)試精度±10um,；R角度測(cè)試精度±10um；圓角幅值Y1,、Y2精度控制在±10um以內(nèi),；角度A1、A2測(cè)試偏差±0.5°,；notch深度Vh和notch寬度Vw精度控制在±1um以內(nèi)等,。
產(chǎn)品規(guī)格
項(xiàng)目 | 參數(shù) |
型號(hào) | WEP-200E |
晶圓尺寸 | 2-6英寸、4-8英寸和12英寸 |
晶圓材料 | 硅,、鍺,、碳化硅、氮化鎵,、磷化銦,、砷化鎵、藍(lán)寶石,、鈮酸鋰等半導(dǎo)體晶圓 |
數(shù)據(jù)讀取和導(dǎo)出 | OK |
邊緣形狀測(cè)量功能 | OK |
Notch口形狀測(cè)量功能 | OK |
單R,、雙R測(cè)量功能 | OK |
Notch寬度、深度 | ±1μm |
輪廓角度測(cè)量重復(fù)精度 | ±1° |
晶圓直徑 | ±1μm |
**測(cè)量厚度 | 1600um |
倒角寬幅精度 | ±10um |
厚度精度 | ±5μm |
R精度,、R重復(fù)精度 | ±5um |
暫無(wú)數(shù)據(jù),！
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