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全自動晶圓倒角機MET-5800
全自動晶圓倒角機MET-5800

參考價格

面議

型號

全自動晶圓倒角機MET-5800

品牌

江蘇晶工

產(chǎn)地

江蘇

樣本

暫無
江蘇晶工半導體設備有限公司

高級會員

|

第1年

|

生產(chǎn)商

工商已核實

留言詢價
核心參數(shù)
  • 功率(kw):

    -
  • 重量(kg):

    300kg
  • 規(guī)格外形(長*寬*高):

    L3300×W2200×H2200mm
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產(chǎn)品規(guī)格


項目

參數(shù)

晶圓尺寸

12英寸(Notch)

晶圓厚度

250um-1000um

工位

雙工位

晶圓參考面形狀

R形,、雙R形、T型,、臺階狀等

設備尺寸和重量

L3300×W2200×H2200mm,;3000kg

磨削X/Y/Z軸精度

X.Y.Z軸精度:±1um

陶瓷吸盤平面精度:±3um

吸盤軸徑向精度:±1um

砂輪軸徑向精度:±1um

砂輪外徑溝部

φ200mm

砂輪外徑

φ202mm

砂輪安裝內徑

φ30mm

砂輪厚度

20mm

砂輪轉速

4000r/min或8000r/min(根據(jù)客戶要求選擇)

Notch砂輪轉速

50000-160000r/min

校正機構

測量方式

非接觸式或機械測厚(根據(jù)客戶要求選擇)

分辨率

1μm

對中精度

20μm


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10分

易用性

10分

性價比

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