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平坦度測量儀FT-900
測量晶片或磁盤等的翹曲,、平坦度的設備
·可測量直徑不超過200mm的樣品。
·可對半導體晶片（硅,、化合物,、氧化物、玻璃）,、硬盤驅動器上使用的磁盤（鋁,、玻璃）、
工業(yè)用金屬片,、任意形狀的樣品進行測量,。
·無論樣品為粗糙表面或光滑表面、透明物體或者樣品上有開孔,、形狀不規(guī)則,，都可以進行測量。
·通過相移法對激光斜入射干涉計產生的干涉條紋進行圖像分析,，以此實現對多種樣品的數據測量,。
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