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晶片晶格畸變應(yīng)力掃描儀品牌
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產(chǎn)品型號：CS1
通過非接觸式的對晶片全體快速掃描（4/6英寸20秒）,，可對所有透明或半透明晶片進行晶片內(nèi)部的位錯聚集以及應(yīng)力分布的感性區(qū)分，以利于快速的掌握晶片質(zhì)量的**手資料,。自動存儲以及任意提取觀察部位的擴大功能便于今后對于芯片的失效分析提供簡易而有力的根據(jù),。特別是針對第三代半導(dǎo)體的碳化硅事業(yè)，是一臺集襯底,、外延和器件產(chǎn)線必不可少的出貨前或生產(chǎn)前的檢測設(shè)備,，對芯片的產(chǎn)出率起到無可替代的功能作用，性價比極高,。
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