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碳化硅單晶生長爐品牌
天科合達(dá)產(chǎn)地
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碳化硅單晶生長爐
產(chǎn)品優(yōu)勢
高度自動化程序,，減少人工操作
能靈活改動溫場，滿足晶體長大,、長快,、長厚要求
內(nèi)置感應(yīng)線圈，提高耦合效率,，更低能耗
金屬真空腔室,，更安全耐用
產(chǎn)品概述
天科合達(dá)目前已經(jīng)開發(fā)出了第五代SiC單晶生長爐，該生長爐為我司自主研發(fā)設(shè)計制造,。爐體采用單室立式雙層水冷不銹鋼結(jié)構(gòu),，爐子整體結(jié)構(gòu)由真空系統(tǒng)、感應(yīng)加熱,、壓力控制和提拉控制四部分控制體系組成,。經(jīng)過不斷的升級迭代，第五代單晶爐在性能已成功達(dá)到國外同類水平,，成本相比僅有其1/4,。
主要優(yōu)勢有：
1、高度的自動化程序,，無需人工操作
2,、使用內(nèi)置感應(yīng)線圈，提高了耦合效率和電能利用率,，能耗更低
3,、能靈活改動溫場，滿足碳化硅晶體長大,、長快,、長厚的需求
4、金屬真空室更安全耐用
下游產(chǎn)品與應(yīng)用
單晶生長爐是生長碳化硅單晶材料的重要設(shè)備,，為公司,、高校和科研院所在研究和生產(chǎn)制備碳化硅單晶晶體、研發(fā)長晶工藝中,，提供高精度的設(shè)備支撐,。公司為此還提供優(yōu)質(zhì)的籽晶,、粉料和長晶方面的技術(shù)支持。
暫無數(shù)據(jù),！
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