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產品概述
利用碳化硅外延設備在自產碳化硅襯底上生長一層高質量的碳化硅單晶薄膜,，制成碳化硅外延片。碳化硅外延片經過晶圓制造,、封裝檢測等環(huán)節(jié),，可制成碳化硅功率器件。
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