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Axio Imager.Vario具有寬大樣品空間,，十分適合于半導(dǎo)體行業(yè)（比如太陽能電池,、晶圓加工檢測、平板顯示器（FPD））成產(chǎn)的材料檢測,、工藝研發(fā),，以及在線檢測。

技術(shù)參數(shù)

1,、物鏡：5x,、10x、20x,、50x,、100x（可選1.25x，2.5,、150x,，可選LD功能）。

2,、目鏡：放大10x（可選16x,、25x）；視場數(shù)23（可選25）,。

3,、物鏡自動聚焦**行程：5mm。

4,、樣品空間深度（光軸到立柱的距離）,；385mm。

5,、載物臺行程：

透反兩用手動載物臺,，200mmX200mm移動范圍；

反射光用手動載物臺,，300mmX300mm移動范圍,；

透反兩用電動載物臺,，200mmX200mm移動范圍；

透反兩用電動載物臺,，反射光用時300mmX300mm移動范圍,，透射光用時200mmX200mm移動范圍。

6,、顯微鏡模塊質(zhì)量：17.5到20kg,。

7、光源：12V100W鹵素?zé)?，智能化光路管理器,，光強色溫自動可調(diào)。

8,、可擴(kuò)展性：可選自動聚焦,，可選透射光路。