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光譜薄膜測試儀 Spectro-Refelctometer for Thin Film Measurement
應(yīng)用領(lǐng)域: IC fab,, MEMS, LED,, solar cell,, photonics, nano technologies.
設(shè)備特性: Angstrom Sun 光譜反射儀廣泛用于各種透明,、半透明薄膜測試.
•廣泛用于檢測各種薄膜的厚度,, 包括oxide, nitride,, photo resist,, metal oxide,, ITO.
•膜厚范圍可自20nm 到5000nm. 可選各種光譜范圍, 自UV 200nm到IR 1700nm.
•可具有高達12”直徑自動 mapping 功能,,軟件功能強大.
技術(shù)參數(shù):
光譜薄膜測試儀 Spectro-Refelctometer for Thin Film Measurement
應(yīng)用領(lǐng)域: IC fab,, MEMS, LED,, solar cell,, photonics, nano technologies.
設(shè)備特性: Angstrom Sun 光譜反射儀廣泛用于各種透明,、半透明薄膜測試.
•廣泛用于檢測各種薄膜的厚度,, 包括oxide, nitride,, photo resist,, metal oxide, ITO.
•膜厚范圍可自20nm 到5000nm. 可選各種光譜范圍,, 自UV 200nm到IR 1700nm.
•可具有高達12”直徑自動 mapping 功能,,軟件功能強大.
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