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高級(jí)薄膜測(cè)定系統(tǒng)

NKD-8000系統(tǒng)綜合了光學(xué),、電子學(xué)和高級(jí)分析軟件，是目前測(cè)定多層薄膜和基片的折射率,、吸收系數(shù)和厚度*精確,、*易用的系統(tǒng),。NKD-8000系列產(chǎn)品具有全自動(dòng)、可同時(shí)測(cè)定透過(guò)光譜和反射光譜，入射光角度從0°到90°連續(xù)改變,。對(duì)分光光譜儀而言,，這是一項(xiàng)****的新功能，使得NKD-8000適用于**挑戰(zhàn)性的光學(xué)測(cè)量,。對(duì)多層薄膜和基片的n,、k和d的測(cè)定變得準(zhǔn)確,、快捷。

技術(shù)參數(shù)：

光譜范圍

NKD-8000 350nm—1000nm ( 標(biāo)準(zhǔn)模式 )

NKD-8000v 280nm—1000nm ( 紫外增強(qiáng)型)

NKD-8000r 800nm—1700nm ( 紅 外 型 )

NKD-8000w 350nm—1700nm (寬光譜 型 )

NKD-8000e 350nm—2200nm (超寬光譜 型 )

注：寬光譜型提供兩個(gè)檢測(cè)器,，可以覆蓋350nm到1000nm和800nm到1700nm或2200nm (僅適用nkd-8000e)，但二者不能同時(shí)用,。

獲得數(shù)據(jù)時(shí)間

2—10分鐘,，這取決于光譜范圍和不同選件

數(shù)據(jù)分析時(shí)間

5秒—5分鐘，取決于數(shù)據(jù)的復(fù)雜程度

光譜分辨率

1nm或2nm （可選）

光源

NKD-8000v 150W 氙弧燈

其他 高穩(wěn)態(tài)100W石英鎢鹵燈

樣品尺寸

10×10mm到200×250mm標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng),，100mm 直徑樣品的掃描臺(tái)

層數(shù)

至多5層,，兩個(gè)未知參數(shù)

薄膜厚度范圍

1nm到25um,，取決于角度、偏振和波長(zhǎng)

1nm 需要增加橢偏模塊

基片

透明,、半透明或半吸收或半導(dǎo)體

材料

電介質(zhì),、高聚物、半導(dǎo)體和金屬

精確度

對(duì)于半吸收薄膜 典型 **

薄膜厚度 ＜1% ＜3%

折射率 ＜0.1% ＜1%

消光系數(shù) ＜1% ＜3%

對(duì)于金屬薄膜

薄膜厚度 ＜1% ＜3%

折射率 ＜1% ＜3%

消光系數(shù) ＜1% ＜3%

重現(xiàn)性

透射率 ＜0.01% ＜0.1%

反射率 ＜0.01% ＜1%

折射系數(shù) ＜0.01% ＜0.1%

入射光角度

30°,、50°或70°（標(biāo)準(zhǔn)單元）或由客戶指定的從

20°到70°連續(xù)可變（可變角版本）或3個(gè)位置角度

樣品上的光斑尺寸

5mm(標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)),，250um（選件）

電源

220V，50Hz,，2A 或110V，60Hz,，3A

外觀尺寸

890×540×720mm

重量

105Kg

選件

多角度,，可變角度，X-Y樣品掃描臺(tái),，多種標(biāo)準(zhǔn)尺寸品架,。樣品觀測(cè)顯微鏡。手動(dòng)或全軟件控制的偏振選件（s-,、p-或非偏振）,。樣品加熱臺(tái)。臺(tái)式機(jī)或工業(yè)PC,。

主要特點(diǎn)：

主要特點(diǎn)

◆ 可測(cè)定波長(zhǎng)范圍從280nm到2300nm的透射和反射光譜

◆ 在同一區(qū)域可同時(shí)測(cè)定T和R值

◆ 可對(duì)折射率(n)，吸收系數(shù)(k) 和厚度(d)進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)定

◆ 樣品可在X-Y掃描臺(tái)上進(jìn)行掃描

◆ 入射光角度可以是固定角度,、多角度和從0°到90°的連續(xù)變化的角度

◆ 可用s-,、p-或非偏振光作為入射光對(duì)T和R進(jìn)行測(cè)定

◆ 可對(duì)透明基片進(jìn)行測(cè)定且不需要對(duì)樣品進(jìn)行前處理

◆ 內(nèi)建的材料數(shù)據(jù)庫(kù)

◆ 密封的樣品室

◆ 可選擇散射模式

◆ 具有在線或離線分析功能

對(duì)T和R同時(shí)測(cè)定

KD-8000系統(tǒng)在同一個(gè)光斑處，同時(shí)對(duì)透過(guò)光譜和發(fā)射光譜進(jìn)行測(cè)定,，保證了兩套數(shù)據(jù)具有直接的相關(guān)性,。通過(guò)測(cè)定這些光譜，全自動(dòng)的控制和分析軟件系統(tǒng)可以從中得到n,、k和d值,。而且所有這些都源自同一次測(cè)定,。不同散射模式的選擇使得對(duì)寬廣范圍材料的分析成為可能，而且用戶可以選擇缺省模式或者高級(jí)分析模式,。

功能強(qiáng)大的Pro-OptixTM控制和分析軟件系統(tǒng)包括一個(gè)可編輯的數(shù)據(jù)庫(kù),，它允許對(duì)材料進(jìn)行預(yù)先定義，以提高分析速度,。該軟件的其他特點(diǎn)包括顏色的匹配和太陽(yáng)光的計(jì)算以及金屬薄膜的算法,。樣品可以是透明的、不透明的或者半吸收的而無(wú)需對(duì)它們特殊處理,。

NKD-8000是**一款能全部提供上述功能的分光型光學(xué)薄膜分析系統(tǒng),，它為薄膜表征設(shè)立了一個(gè)標(biāo)準(zhǔn),。

可變的入射光角度

①反射光檢測(cè) ②光束管 ③Y軸坐標(biāo) ④透射光檢測(cè)器 ⑤Z軸坐標(biāo) ⑥X軸坐標(biāo) ⑦樣品臺(tái) ⑧馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的可變角度選擇裝置

NKD-8000系統(tǒng)提供可變的角度選擇裝置，它提供完全馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的,，可由PC機(jī)控制入射光的角度,，入射角度從從0°到90°可自由選擇。

通過(guò)使用分析軟件中的集成工具就可實(shí)現(xiàn)對(duì)T和R的s-偏振光譜和p-偏振光譜進(jìn)行獨(dú)立分析或二者一起分析,。

通過(guò)作為選件的X-Y掃描臺(tái)可以對(duì)大尺寸樣品進(jìn)行掃描,，樣品在X,、Y兩個(gè)方向上的**行程是100mm,，同時(shí)保持入射光斑始終位于行程的中間,。

在測(cè)定時(shí)有許多樣品架備選,，它們可以?shī)A持不同類型尺寸的樣品。全PC控制使這種方法對(duì)整個(gè)樣品的數(shù)據(jù)收集和分析變得簡(jiǎn)單,、準(zhǔn)確和快捷,。

多個(gè)角度

如果在應(yīng)用中只需一些不連續(xù)的入射光角度，那么多角度選件可以提供一個(gè)滿意的解決方案,。從0°到90°,，用戶可自定義三個(gè)入射光角度。

附件

熱臺(tái)：可控制樣品溫度至150度,，測(cè)定變溫下的T和R,，對(duì)測(cè)定光學(xué)涂層和基體的光譜位移十分有用。

顯微鏡/相機(jī)：對(duì)樣品進(jìn)行顯微分析,。

微光斑附件：將入射光斑聚焦至200微米，特別適合表征微小樣品和局部區(qū)域,。