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核心參數(shù)：

樣品臺移動范圍：150mm*150mm (可選200mm*200mm)

樣品尺寸：直徑≤200mm,， 厚度≤20mm

定位檢測噪聲：0.03nm(typical)， 0.05nm(maximum)

產(chǎn)地類別：進(jìn)口儀器

世界**精度及強(qiáng)大功能Park原子力顯微鏡產(chǎn)品特性

Park XE15具備多個特殊功能,，是共享實(shí)驗(yàn)室處理各類樣品,、研究員進(jìn)行多變量實(shí)驗(yàn)、失效分析師研究晶片等的不二選擇,。合理的價格搭配強(qiáng)健的性能設(shè)置,，使其成為業(yè)內(nèi)性價比**的大型樣品原子力顯微鏡。

MultiSample™（多重采樣^TM）掃描器帶來*便捷樣品測量

多樣品一次性自動成像

特殊設(shè)計(jì)的多樣品夾頭,，*多可承載16個獨(dú)立樣品

全自動XY樣品載臺,，行程范圍達(dá)200 mm x 200 mm。

無軸間耦合提高掃描精度

兩種獨(dú)立閉環(huán)XY和Z平板式掃描

平板式和線性XY掃描可達(dá)100μm x 100μm,，且殘余壓彎小

整個掃描范圍內(nèi)的異面移動小于2nm

強(qiáng)力掃描器達(dá)25μm Z掃描范圍

精確的高度測量

Non-Contact™（真正非接觸^TM）模式延長針尖使用壽命,、改善樣品保存及精度

其Z掃描頻寬是壓電管基礎(chǔ)系統(tǒng)的10倍

非接觸式可降低針尖磨損,、延長使用壽命

成像分辨率高于同類原子力顯微鏡

降低樣品干擾，提高掃描精度

提供**用戶體驗(yàn)

開放式側(cè)面接入,，提高樣品及針尖更換效率

預(yù)對準(zhǔn)的針尖安裝和****的軸上俯視法可簡單直觀地實(shí)現(xiàn)激光對準(zhǔn)

燕尾鎖封片方便鏡頭拆卸

界面帶自動設(shè)置功能,，方便用戶使用

多種模式與選項(xiàng)

綜合性測量模式及特性設(shè)置，是我司**通用型原子力顯微鏡

多種可選配件及更新,，擴(kuò)展性能優(yōu)越

為缺陷分析提供先進(jìn)電氣測量

產(chǎn)品特點(diǎn)

100um x 100 um掃描范圍的XY柔‘性導(dǎo)向掃描器

XY掃描器含系統(tǒng)二維彎曲及強(qiáng)力壓電堆疊,，可使極小平面外移動形成較大的正交運(yùn)動，并能快速響應(yīng),，實(shí)現(xiàn)精確的樣品納米級掃描,。

柔性導(dǎo)向強(qiáng)力Z掃描器

在強(qiáng)力壓電堆疊的驅(qū)動及彎曲結(jié)構(gòu)的引導(dǎo)下，其硬度允許掃描器高速豎直運(yùn)動,，較傳統(tǒng)原子力顯微鏡掃描器更加高速,。**Z型掃描范圍搭配遠(yuǎn)程Z掃描器（選配）可延長12μm至25μm。

滑動連接的超亮二極管頭

通過將原子力顯微鏡頭沿楔形軌道滑動,，可輕松將其插入或取出,。低相干的超發(fā)光二極管頭可實(shí)現(xiàn)高反射表面的精確成像和力-矩光譜的精確測量。超亮二極管頭的波長幫助減輕干擾問題,，因此用戶在可見光譜實(shí)驗(yàn)中也可使用本產(chǎn)品,。

多樣品夾頭

特殊設(shè)計(jì)的多樣品夾頭，做多可承載16個獨(dú)立樣品,，由多重采樣掃描器自動按順序掃描,。特殊的夾頭設(shè)計(jì)為接觸樣品針尖預(yù)留了邊通道。

選配編碼器的XY自動樣品載臺

自動集成XY載臺可輕松并精確控制樣品的測量位置,。XY樣品載臺的行程范圍可配置為150 mm x 150 mm或200 mm x 200 mm,。若搭配自動載臺使用編碼器，可提高樣品定位的精確度和重復(fù)性,。編碼XY載臺工作時分辨率為1 μm,，重復(fù)率為2 μm。編碼Z載臺的分辨率為0.1 μm,，重復(fù)率為1 μm,。

高分辨率數(shù)碼變焦感光元件攝像頭

高分辨率數(shù)碼感光元件攝像頭利用直接同軸光學(xué)，具備變焦功能,，無論是否搖攝均可確保圖像具有清晰的成像質(zhì)量,。

垂直對齊的自動Z載臺及聚焦載臺

Z載臺和聚焦載臺可將懸臂嚙合到樣品表面上，同時確保用戶視野清晰穩(wěn)定,。聚焦載臺是由軟件控制自動運(yùn)行的,，因此滿足透明樣品及液態(tài)元件應(yīng)用所需精度。

彎曲基底解耦XY和Z掃描器

Z掃描器與XY掃描器完全解耦。XY掃描器在水平面上移動樣品,，同時Z掃描器豎直移動探針,。

此配置以*小異面移動，實(shí)現(xiàn)了平板式XY掃描,。此XY掃描同時還具有高正交性與線性,。

業(yè)內(nèi)*低本底噪聲

為探測*小樣品的特性，幫助*快運(yùn)動平面成像,，Park Systems設(shè)計(jì)了業(yè)內(nèi)0.5A以下的*低本底噪聲標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備,。使用“零掃描”探測本地噪聲數(shù)據(jù)。

真正非接觸模式延長針尖使用壽命

XE系列原子力顯微鏡已成功搭配**強(qiáng)力Z掃描系統(tǒng)獨(dú)有的真正非接觸模式,。真正非接觸模式下,，使用的是相吸而非相排斥的內(nèi)部原子力。

真正非接觸模式因此成功地保持了針尖樣品納米級間距,，改善了原子力顯微鏡圖像,，保持針尖的銳利，因此有效延長了針尖使用壽命,。

預(yù)對準(zhǔn)懸臂支撐

預(yù)先安裝在探針支撐上,，因此不需要嚴(yán)格對齊激光束。

高分辨率的直接同軸光學(xué)元件

用戶可直接俯視觀看樣品,，操控樣品表面,，從而很容易就能找到目標(biāo)區(qū)域。高分辨率數(shù)碼攝像頭具備變焦功能,，無論是否搖攝均可確保圖像具有清晰的成像質(zhì)量。

帶DSP控制芯片的XE控制電子元件

原子力顯微鏡發(fā)出的納米級信號將由高性能Park XE電子元件控制并處理,。Park XE電子元件為低噪聲設(shè)計(jì),，配備高速處理單元，可成功實(shí)現(xiàn)真正非接觸™模式,，是納米級成像及電壓電流精準(zhǔn)測量的理想選擇,。

600 MHz、4800 MIPS速度的高性能處理單元

低噪聲設(shè)計(jì),，適合電壓電流精準(zhǔn)測量

-通用系統(tǒng),，各SPM技術(shù)均可得到應(yīng)用

外部信號接入模塊，存取原子力顯微鏡輸入/輸出信號

*多16個數(shù)據(jù)成像

**數(shù)據(jù)尺寸：4096 x 4096像素

16位ADC/DAC,，速度達(dá)500 kHz

TCP/IP連接,，隔離計(jì)算機(jī)接出電噪