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2核心參數(shù)：

l儀器種類：原子力顯微鏡

l樣品臺(tái)移動(dòng)范圍：20mm*20mm

l樣品尺寸：直徑≤50mm， 厚度≤20mm

l定位檢測(cè)噪聲：X-Y≤0.25nm,， Z≤0.03nm

l產(chǎn)地類別：進(jìn)口儀器

2準(zhǔn)確成像,， 無交叉耦合現(xiàn)象

l業(yè)界**的XYZ軸線性度，樣品和探針分別由獨(dú)立的柔性制導(dǎo)掃描器控制移動(dòng)

l*低的平面偏移度,，全程水平掃描時(shí)平面偏移量不超過1納米

l垂直掃描器全程伸縮時(shí),，線性度優(yōu)于0.015%

l優(yōu)化的水平掃描器ringing現(xiàn)象， 科學(xué)的正向sine-scan算法

2準(zhǔn)確掃描,，真正的非接觸模式

l業(yè)界**的垂直掃描器,，帶寬超過9kHz，探針垂直伺服響應(yīng)速度超過62mm/sec

l在非接觸模式下*快的掃描速度

l極低的探針磨損,，能夠保證長(zhǎng)時(shí)間的高質(zhì)量掃描

l極低的樣品損傷

2準(zhǔn)確測(cè)量,，真正的樣品形貌

l采用業(yè)界**的低噪聲遲滯檢測(cè)器測(cè)量樣品形貌

l業(yè)界**的極小正反測(cè)量偏離量，小于0.15%

l采用優(yōu)化的散熱部件,，極大地降低了系統(tǒng)熱漂移和遲滯現(xiàn)象

l功能強(qiáng)大的先進(jìn)隔音罩,，艙體內(nèi)部主動(dòng)控溫用戶工作效率

l開放式的設(shè)計(jì)，方便更換探針和樣品

l探針預(yù)定位裝夾設(shè)計(jì)，簡(jiǎn)單便捷的測(cè)量激光調(diào)節(jié)過程,，具有**的自上至下的直觀觀察系統(tǒng)

l創(chuàng)新的“十秒進(jìn)針”功能,，探針可自動(dòng)高速完成進(jìn)針操作

l24位數(shù)字電控箱，三組內(nèi)置鎖存放大器,，具備Q-control和彈性常數(shù)校準(zhǔn)功能

2技術(shù)參數(shù)

XY掃描器

l閉環(huán)控制式單模塊柔性XY掃描器

l掃描范圍: 50 μm × 50 μm (可選 100 μm × 100 μm)

l分辨率: 0.05 nm

l定位檢測(cè)噪音: < 0.3 nm (帶寬: 1 kHz)

l水平線性: < 2nm (over 40 μm scan)

Z掃描器

l柔性引導(dǎo)高力度掃描器

l掃描范圍: 15 μm (可選 30 μm)

l分辨率: 0.015 nm

l定位檢測(cè)噪音: 0.03 nm (帶寬: 1 kHz)

l共振頻率: > 9 kHz (typically 10.5 kHz)

l表面成像噪音: < 0.03 nm (0.02 nm typical)

光學(xué)系統(tǒng)

l可觀察樣品和探針的直視同軸光學(xué)系統(tǒng)

l視場(chǎng): 480 × 360 μm (10× objective lens)

lCCD: 1M像素（像素分辨率: 0.4 μm）

物鏡

l10x (0.21 NA) 超長(zhǎng)工作范圍的鏡頭(1 μm分辨率)

l20x (0.42 NA) 高分辨率長(zhǎng)工作范圍的鏡頭(0.6 μm分辨率)

信號(hào)處理

lADC: 18個(gè)通道 4 個(gè)高速 ADC 通道 (50 MSPS)

X,，Y和Z掃描器定位傳感器的24-bit ADCs

lDAC: 12 信道 2 個(gè)高速 DAC 通道 (50 MSPS)

X，Y和Z掃描器定位的20-bit DACs

l**數(shù)據(jù)大小: 4096 x 4096 像素

集成功能

l3個(gè)通道數(shù)字鎖相放大器

l熱噪聲法標(biāo)定彈性系數(shù)

l數(shù)碼Q控制

外部信號(hào)介入

l20個(gè)嵌入式信號(hào)輸入/輸出端口

l5個(gè)TTL輸出: EOF,， EOL,， EOP， Modulation和AC bias