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儀器由主機(jī)和控制系統(tǒng),、專用工具,、操作軟件及附件組成。主要用于化學(xué),、材料科學(xué)（納米材料,、高分子、聚合物,、半導(dǎo)體等）,、生命科學(xué)以及相關(guān)領(lǐng)域的研究工作，對(duì)各種材料,、化工產(chǎn)品,、生物制品、非金屬礦及深加工產(chǎn)品等進(jìn)行觀測(cè),，并對(duì)其表面形貌進(jìn)行分析,。
掃描隧道顯微鏡功能：恒流模式、恒高模式,、I(Z)譜,、I(V)譜
原子力顯微鏡功能：形貌成像、相位成像,、磁力顯微鏡,、靜電力顯微鏡、擴(kuò)展電阻成像、開爾文探針顯微鏡,、力－距離曲線,、振幅－距離曲線、I(V)譜
刻蝕功能：力刻蝕,、電流刻蝕,、矢量刻蝕
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