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· 光束質(zhì)量： M2 < 1.5
· 脈沖能量達(dá) 100μJ
· 脈寬 600fs
· 峰值功率達(dá) 160MW
· 脈沖重復(fù)頻率達(dá) 50MHz
· 平均功率達(dá) 200W
· 波長(zhǎng) 1030,、 515,、 343nm
型號(hào) | FXxxx-1 | FXxxx-2 | FXxxx-3 |
波長(zhǎng)（nm） | 1030 | 515 | 343 |
光束質(zhì)量M2 | 1.1 | 1.1 | 1.5 |
**平均功率（W） | 200 | 100 | 30 |
**重頻頻率（MHz） | 50 | 50 | 50 |
**單脈沖能量（uJ） | 100 | 50 | 15 |
*小脈寬（fs） | 600 | 600 | 600 |
能量穩(wěn)定性（%）rms | 2 | 3 | 3 |
偏振比 | >100:1 | >100:1 | >100:1 |
光斑橢圓度（遠(yuǎn)場(chǎng)）[%] | <10 | <10 | <10 |
光斑直徑（mm） | 3 | 3 | 3 |
發(fā)散角（全角，μrad） | 500 | 250 | 226 |
預(yù)熱時(shí)間（min） | 15 | 20 | 30 |
· 光伏產(chǎn)業(yè),，如:硅晶園的劃片,、打孔和切割；薄膜太陽(yáng)能電池和晶硅太陽(yáng)能電池導(dǎo)電層和絕緣層的燒蝕
· 印刷工業(yè),，如: 印刷輪雕版
· 顯示領(lǐng)域,，如: 構(gòu)造導(dǎo)電層，橫向連續(xù)硅結(jié)晶
· 電子行業(yè),，如: 印刷電路板的鉆孔和切割
· 汽車(chē)行業(yè),，如: 燃油噴射閥門(mén)的制造
· 工具制造和機(jī)械工程，如: 三維快速成型
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