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一種能自動(dòng)實(shí)時(shí)測量擴(kuò)散結(jié)深的光學(xué)測量系統(tǒng).該系統(tǒng)是對(duì)磨槽機(jī)在硅片上的磨槽進(jìn)行測量來獲得擴(kuò)散結(jié)深數(shù)據(jù)的.

技術(shù)參數(shù)：

1，測量方式

實(shí)時(shí)影像測量,，無須拍照后測量

2,，測量模式

自動(dòng)測量，無須鼠標(biāo)取點(diǎn)或取邊

3,，統(tǒng)計(jì)功能

**值,、*小值、平均值,、極差,、方差、標(biāo)準(zhǔn)差,、離散系數(shù)等,；同時(shí)處理多個(gè)管制項(xiàng)目；實(shí)時(shí)顯示統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù),，并可以根據(jù)用戶要求增加統(tǒng)計(jì)項(xiàng)目

報(bào)表系統(tǒng) 采用智能化選擇性數(shù)據(jù)輸出技術(shù),，實(shí)現(xiàn)“待測工件→測量參數(shù)→專用報(bào)告→品管統(tǒng)計(jì)”數(shù)據(jù)流自動(dòng)化

主要特點(diǎn)：

快速，實(shí)時(shí),，精確,，可靠