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一種能自動實時測量擴散結深的光學測量系統(tǒng).該系統(tǒng)是對磨槽機在硅片上的磨槽進行測量來獲得擴散結深數據的.
技術參數：
1,，測量方式
實時影像測量,，無須拍照后測量
2，測量模式
自動測量,，無須鼠標取點或取邊
3,，統(tǒng)計功能
**值、*小值,、平均值,、極差、方差,、標準差,、離散系數等；同時處理多個管制項目,；實時顯示統(tǒng)計數據,，并可以根據用戶要求增加統(tǒng)計項目
報表系統(tǒng) 采用智能化選擇性數據輸出技術，實現“待測工件→測量參數→專用報告→品管統(tǒng)計”數據流自動化
主要特點：
快速,，實時,，精確，可靠
暫無數據,！
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