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光學(xué)表面測量系統(tǒng)Leica DCM8
光學(xué)表面測量系統(tǒng)Leica DCM8

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德國

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天津徠科光學(xué)儀器有限公司

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Leica DCM8將高清共聚焦顯微技術(shù)和干涉測量技術(shù)融合在一起,,更添加了豐富的附加功能,使各種 材料表面特性的精確再現(xiàn)變得便利起來,。為滿足您的記錄需求,,系統(tǒng)的內(nèi)置百萬像素CCD攝像頭 和4個LED光源提供非同凡響的真彩成像功能.

常規(guī)技術(shù)參數(shù)

1.測量原理:非接觸式3D雙核光學(xué)成像輪廓測定法(共聚焦和干涉測量)。

2.功能:高清成像,、高清3D形貌,、輪廓、坐標(biāo),、厚度、粗糙度,、體積,、表面紋理、光譜分析,、 色彩分析等,。

3.對比度模式:高清共聚焦、高清干涉測量(PSI,、ePSI,、VSI)、高清明場彩色,、明場,、暗場、實時高清RGB 共聚焦,。

4.樣品高度 標(biāo)準(zhǔn)型:40 mm,;包括可調(diào)立柱:**150 mm;根據(jù)要求可提供更高的樣品高度,。

5.物鏡 共聚焦,、明場和暗場模式下,放大倍率1.25×至150×,;干涉測量模式下,,放大倍率5×至 50×,。

6.物鏡轉(zhuǎn)盤 6位手動式物鏡轉(zhuǎn)盆/6位電動式物鏡轉(zhuǎn)盆。

7.載物臺掃描范圍(x,、y,、z) 垂直:z = 40 mm;水平:XY = 100x75 mm (標(biāo)準(zhǔn)),,或= 300x300 mm (**),。 根據(jù)要求,可提供更大的載物臺,。

8.垂直掃描范圍 共聚焦40 mm,,PSI20 mm,ePSI100 mm,,VSI10 mm,。

9.照明 LED光源:紅色(630nm),綠色(530nm),,藍(lán)色(460nm)和白色,。

10.圖像采集 CCD黑白傳感器:1360x1024像素(全分辨率);黑白35FPS 真彩/共聚焦:3FPS(全分辨率),,10FPS(半分辨率),,15FPS影像共聚焦。

11.樣品反射率 0.1%-100%,。

12.尺寸和重量 長x寬x高= 573 mm x390 mm x569 mm,;重量:48kg 。

13.工作條件 溫度:10°至35°C,;相對濕度(RH) < 80%,;海拔高度< 2000 m 。

14.隔振 有源或無源 ,。

15.再現(xiàn)性(50x放大倍率) 共聚焦/VSI:誤差= 0.003 mm (3nm),;PSI:誤差= 0.16nm (0.00016 mm)。

16.精確度(20x放大倍率) 開環(huán):相對誤差< 3%,;閉環(huán):誤差< 20nm,。

共聚焦模式

物鏡放大倍率:1.25× 2.5× 5× 10× 20× 50× 100× 150×

數(shù)值孔徑:0.04 0.07 0.15 0.3 0.5 0.9 0.95 0.95

視場(μm):14032x 10560 7016x 5280 3508x 2640 1754x 1320 877x660 351x264 175x132 117x88

光學(xué)分辨率(X/Y): (μm) 3.5 2.0 0.94 0.47 0.28 0.16 0.14 0.14

縱向分辨率(nm): <3000 <350 <150 <30 <15 <5 <2 <2

典型測量時間: 3-5s

干涉測量模式

物鏡放大倍率:5× 10× 20× 50×

數(shù)值孔徑:0.15 0.30 0.40 0.50

視場(μm):3508x2640 1754x1320 677x660 351x264

光學(xué)分辨率(藍(lán)光)(X/Y)(μm):0.94 0.47 0.35 0.28

光學(xué)分辨率(白光)(X/Y)(μm):1.12 0.56 0.42 0.33

縱向分辨率(nm) PSI <0.1;ePSI < 1.0,;VSI < 3.0

垂直掃描速度(μm/s) VSI/ePSI:2.4 – 17μm/s

典型測量時間 PSI:3 – 6sVSI:10s,;ePSI:30s

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10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價比

10分
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