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桌面級SEM掃描電鏡多功能濺射儀,特別適用于FE-SEM高分辨掃描電鏡樣品的噴金以及樣品等離子體清洗等多種用途,。采用分子泵泵組獲得< 9*10-6 Torr本底真空,,可以在mTorr氣壓下實現(xiàn)磁控濺射噴金,獲得更為細膩的金膜,,以滿足FE-SEM高分辨掃描電鏡等樣品處理,。同時具備遠程RF 射頻離子源實現(xiàn)樣品清洗,高效,、低等離子體轟擊損傷,。
核心部件采用國際品牌無油分子泵組,靜音,、無需操心真空系統(tǒng)和操作間環(huán)境泵油污染,。保證設備具有優(yōu)異的質(zhì)量與穩(wěn)定可靠性。觸摸屏界面操作,,即插即用,。
參數(shù)規(guī)格
暫無數(shù)據(jù)!