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SpecEl-2000-VIS橢偏儀通過測量基底反射的偏振光,，進而測量薄膜厚度及材料不同波長處的折射率,。波長范圍200-900nm。SpecEl通過PC控制來實現(xiàn)折射率,，吸光率及膜厚的測量,。
SpecEl由一個集成的光源，一個光譜儀及兩個成70°的偏光器構成,，并配有一個32位操作系統(tǒng)的PC.該橢偏儀可測量0.1nm-5um厚的單膜,，分辨率0.1nm，測量時間5-15秒,，并且折射率測量可達0.005%,。
| 波長范圍: | 380-780 nm (標準) 或450-900 nm (可選) |
| 光學分辨率: | 4.0 nm FWHM |
| 測量精度: | 厚度0.1 nm ; 折射率 0.005% |
| 入射角: | 70° |
| 膜厚: | 單透明膜1-5000 nm |
| 光點尺寸: | 2 mm x 4 mm (標準) 或 200 µm x 400 µm (可選) |
| 采樣時間: | 3-15s (*小) |
| 動態(tài)記錄: | 3 seconds |
| 機械公差 (height): | +/- 1.5 mm， 角度 +/- 1.0° |
| 膜層數(shù): | 至多32層 |
| 參考: | 不用 |
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