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SpecEl-2000-VIS橢偏儀通過(guò)測(cè)量基底反射的偏振光，進(jìn)而測(cè)量薄膜厚度及材料不同波長(zhǎng)處的折射率,。波長(zhǎng)范圍200-900nm,。SpecEl通過(guò)PC控制來(lái)實(shí)現(xiàn)折射率，吸光率及膜厚的測(cè)量,。
SpecEl由一個(gè)集成的光源,，一個(gè)光譜儀及兩個(gè)成70°的偏光器構(gòu)成，并配有一個(gè)32位操作系統(tǒng)的PC.該橢偏儀可測(cè)量0.1nm-5um厚的單膜,，分辨率0.1nm,，測(cè)量時(shí)間5-15秒，并且折射率測(cè)量可達(dá)0.005%,。
| 波長(zhǎng)范圍: | 380-780 nm (標(biāo)準(zhǔn)) 或450-900 nm (可選) |
| 光學(xué)分辨率: | 4.0 nm FWHM |
| 測(cè)量精度: | 厚度0.1 nm ; 折射率 0.005% |
| 入射角: | 70° |
| 膜厚: | 單透明膜1-5000 nm |
| 光點(diǎn)尺寸: | 2 mm x 4 mm (標(biāo)準(zhǔn)) 或 200 µm x 400 µm (可選) |
| 采樣時(shí)間: | 3-15s (*小) |
| 動(dòng)態(tài)記錄: | 3 seconds |
| 機(jī)械公差 (height): | +/- 1.5 mm,， 角度 +/- 1.0° |
| 膜層數(shù): | 至多32層 |
| 參考: | 不用 |
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