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儀器簡介：

技術(shù)參數(shù)：

1,、射頻發(fā)生器-標準配置,、復(fù)合D級標準、穩(wěn)定性高,、濺射束斑極為平坦,、等離子體穩(wěn)定時間極短，表面信息無任何失真,。

2,、脈沖工作模式既可以分析常規(guī)的涂/鍍層和薄膜，也可以很好地分析熱導(dǎo)性能差和熱易碎的涂/鍍層和薄膜,。

3,、Polyscan多道（同時）光譜儀可全譜覆蓋，光譜范圍從110nm~800nm,，可測試遠紫外元素C,、H、O,、N和Cl,。

4、HORIBA的原版離子刻蝕全息光柵保證了儀器擁有**的光通量,，因而擁有**的光效率和靈敏度,。

5、高動態(tài)檢測器（HDD）可快速,、高靈敏的檢測ppm-100%含量的元素,。動態(tài)范圍為5 x 10¹⁰。

6,、寬大的樣品室方便各類樣品的加載,。

7、功能強大的Quantum軟件可以靈活方便的輸出各種格式的檢測報告,。

8,、HORIBA獨有的單色儀（選配）可極大地提高儀器靈活性，可實現(xiàn)固定通道外任意一個元素的同步測試,，稱為n+1,。

9、適用于ISO14707和16962標準,。