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儀器簡介：

技術(shù)參數(shù)：

1,、射頻發(fā)生器-標(biāo)準(zhǔn)配置、復(fù)合D級標(biāo)準(zhǔn),、穩(wěn)定性高,、濺射束斑極為平坦、等離子體穩(wěn)定時間極短,、表面信息無任何失真,。

2、脈沖工作模式既可以分析常規(guī)的涂/鍍層和薄膜,，也可以很好地分析熱導(dǎo)性能差和熱易碎的涂/鍍層和薄膜,。

3、Polyscan多道（同時）光譜儀可全譜覆蓋,，光譜范圍從110nm~800nm,，可測試遠(yuǎn)紫外元素C、H,、O,、N和Cl。

4,、HORIBA的原版離子刻蝕全息光柵保證了儀器擁有**的光通量,，因而擁有**的光效率GD敏度,。

5,、高動態(tài)檢測器（HDD）可快速,、高靈敏地檢測ppm-100%含量的元素。動態(tài)范圍為5 x 10¹⁰,。

6,、寬大的樣品室方便各類樣品的加載。

7,、功能強(qiáng)大的Quantum軟件可以靈活方便的輸出各種格式的檢測報告,。

8、HORIBA獨(dú)有的單色儀（選配）可極大的提高儀器的靈活性,，可實現(xiàn)固定通道外任意一個元素的同步測試,，稱為n+1。

9,、適用于ISO14707和16962標(biāo)準(zhǔn),。

10、GD-Profiler HR多色儀焦距為1米,，光譜分辨率可達(dá)14pm,，*多可同時分析60種元素。

11,、GD-Profiler HR可選配焦距為1米的單色儀,，**光譜分辨率達(dá)9pm。