EM13LD 系列是采用先進的測量技術(shù),,針對普通精度需求的研發(fā)和質(zhì)量控制領(lǐng)域推出的多入射角激光橢偏儀,。
EM13LD系列采用半導(dǎo)體激光器作為光源,可在單入射角度或多入射角度下對樣品進行準(zhǔn)確測量,??捎糜跍y量單層或多層納米薄膜樣品的膜層厚度、折射率n和消光系數(shù)k,;也可用于同時測量塊狀材料的折射率n和消光系數(shù)k,;亦可用于實時測量納米薄膜動態(tài)生長中膜層的厚度、折射率n和消光系數(shù)k,。多入射角度設(shè)計實現(xiàn)了納米薄膜的**厚度測量,。
EM13LD系列采用了量拓科技多項**技術(shù)。
特點:
次納米的高靈敏度
國際先進的采樣方法、穩(wěn)定的核心器件,、高質(zhì)量的制造工藝實現(xiàn)并保證了能夠測量極薄納米薄膜,,膜厚精度可達(dá)到0.5nm。
3秒的快速測量
國際水準(zhǔn)的儀器設(shè)計,,在保證精度和準(zhǔn)確度的同時,,可在3秒內(nèi)快速完成一次測量,可對納米膜層生長過程進行測量,。
簡單方便的儀器操作
用戶只需一個按鈕即可完成復(fù)雜的材料測量和分析過程,,數(shù)據(jù)一鍵導(dǎo)出。豐富的模型庫,、材料庫方便用戶進行高級測量設(shè)置,。
應(yīng)用:
- EM13LD系列適合于普通精度要求的科研和工業(yè)環(huán)境中的新品研發(fā)或質(zhì)量控制。
- EM13LD系列可用于測量單層或多層納米薄膜層構(gòu)樣品的薄膜厚度,、折射率n及消光系數(shù)k,;可用于同時測量塊狀材料的折射率n和消光系數(shù)k;可用于實時測量快速變化的納米薄膜的厚度,、折射率n和消光系數(shù)k,。
- EM13LD可應(yīng)用的納米薄膜領(lǐng)域包括:微電子、半導(dǎo)體,、集成電路,、顯示技術(shù)、太陽電池,、光學(xué)薄膜,、生命科學(xué)、化學(xué),、電化學(xué),、磁質(zhì)存儲、平板顯示,、聚合物及金屬表面處理等,。可應(yīng)用的塊狀材料領(lǐng)域包括:固體(金屬,、半導(dǎo)體,、介質(zhì)等),或液體(純凈物或混合物),。
技術(shù)指標(biāo):
項目 | 技術(shù)指標(biāo) |
儀器型號 | EM13 LD/635 (或其它選定波長) |
激光波長 | 635 nm (或其它選定波長,,高穩(wěn)定半導(dǎo)體激光器) |
膜厚測量重復(fù)性(1) | 0.5nm (對于平面Si基底上100nm的SiO2膜層) |
折射率測量重復(fù)性(1) | 5x10-3 (對于平面Si基底上100nm的SiO2膜層) |
單次測量時間 | 與測量設(shè)置相關(guān),典型3s |
**的膜層范圍 | 透明薄膜可達(dá)1000nm 吸收薄膜則與材料性質(zhì)相關(guān) |
光學(xué)結(jié)構(gòu) | PSCA(Δ在0°或180°附近時也具有極高的準(zhǔn)確度) |
激光光束直徑 | 2mm |
入射角度 | 40°-90°可手動調(diào)節(jié),,步進5° |
樣品方位調(diào)整 | Z軸高度調(diào)節(jié):±6.5mm 二維俯仰調(diào)節(jié):±4° 樣品對準(zhǔn):光學(xué)自準(zhǔn)直和顯微對準(zhǔn)系統(tǒng) |
樣品臺尺寸 | 平面樣品直徑可達(dá)Φ170mm |
**外形尺寸 | 887 x 332 x 552mm (入射角為90º時) |
儀器重量(凈重) | 25Kg |
選配件 | 水平XY軸調(diào)節(jié)平移臺,,真空吸附泵 |
軟件(ETEM) | * 中英文界面可選 * 多個預(yù)設(shè)項目供快捷操作使用 * 單角度測量/多角度測量操作和數(shù)據(jù)擬合 * 方便的數(shù)據(jù)顯示,、編輯和輸出 * 豐富的模型和材料數(shù)據(jù)庫支持 |
注:(1)測量重復(fù)性:是指對標(biāo)準(zhǔn)樣品上同一點、同一條件下連續(xù)測量30次所計算的標(biāo)準(zhǔn)差,。
性能保證:
- 穩(wěn)定性的半導(dǎo)體激光光源,、先進的采樣方法,保證了穩(wěn)定性和準(zhǔn)確度
- 高精度的光學(xué)自準(zhǔn)直系統(tǒng),,保證了快速,、高精度的樣品方位對準(zhǔn)
- 穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)設(shè)計、可靠的樣品方位對準(zhǔn),,結(jié)合先進的采樣技術(shù),,保證了快速、穩(wěn)定測量
- 分立式的多入射角選擇,,可應(yīng)用于復(fù)雜樣品的折射率和**厚度的測量
- 一體化集成式的儀器結(jié)構(gòu)設(shè)計,,使得系統(tǒng)操作簡單、整體穩(wěn)定性提高,,并節(jié)省空間
- 一鍵式軟件設(shè)計以及豐富的物理模型庫和材料數(shù)據(jù)庫,,方便用戶使用
可選配件: