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ES01-PV是針對光伏太陽能電池研發(fā)和質量控制領域推出的高性能光譜橢偏儀,。
ES01-PV用于測量和分析光伏領域中多層納米薄膜的層構參數(如,厚度)和物理參數(如,,折射率n,、消光系數k),典型樣品包括:絨面單晶和多晶太陽電池上的單層減反膜(如SiNx,,SiO2,,TiO2,Al2O3等)和多層減反膜(如,,SiNx/SiO2,, SiNx2/SiNx1, SiNx /Al2O3 等),,以及薄膜太陽電池中的多層納米薄膜,。
項目 | 技術指標 |
光譜范圍 | 240nm-930nm(絨面測量時為350-850nm) |
單次測量時間 | 10s,,取決于測量模式 |
膜厚測量重復性(1) | 0.05nm (對于平面Si基底上100nm的SiO2膜層) |
折射率精度(1) | 1x10-3 (對于平面Si基底上100nm的SiO2膜層) |
入射角度 | 40°-90°自動調節(jié) |
光學結構 | PSCA(Δ在0°或180°附近時也具有極高的準確度) |
樣品臺尺寸 | 一體化樣品臺輕松變換可測量單晶或多晶樣品 |
兼容125*125mm和156*156mm的太陽能電池樣品 | |
樣品方位調整 | Z軸高度調節(jié):±6.5mm |
二維俯仰調節(jié):±4° | |
樣品對準:光學自準直顯微和望遠對準系統(tǒng) | |
軟件 | •多語言界面切換 |
•太陽能電池樣品預設項目供快捷操作使用 | |
•安全的權限管理模式(管理員、操作員) | |
•方便的材料數據庫以及多種色散模型庫 | |
•豐富的模型數據庫 |
注:(1)測量重復性:是指對標準樣品上同一點,、同一條件下連續(xù)測量30次所計算的標準差,。
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