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ES03是針對(duì)科研和工業(yè)環(huán)境中薄膜測(cè)量推出的高精度多入射角光譜橢偏儀,，儀器波長(zhǎng)范圍從紫外到近紅外。
ES03多入射角光譜橢偏儀用于測(cè)量單層和多層納米薄膜的層構(gòu)參數(shù)（如,，厚度）和物理參數(shù)（如,，折射率n、消光系數(shù)k）,，也可用于測(cè)量塊狀材料的折射率n和消光系數(shù)k,。
ES03系列適合于對(duì)樣品進(jìn)行實(shí)時(shí)和非實(shí)時(shí)的檢測(cè)。
ES03系列多種光譜范圍可滿足不同應(yīng)用場(chǎng)合,。比如：
典型應(yīng)用如：
項(xiàng)目 | 技術(shù)指標(biāo) |
光譜范圍 | ES03V：370-1000nm ES03U：245-1000nm |
光譜分辨率 | 1.5nm |
單次測(cè)量時(shí)間 | 典型10s,，取決于測(cè)量模式 |
準(zhǔn)確度 | δ(Psi): 0.02 ° ，δ(Delta): 0.04° （透射模式測(cè)空氣時(shí)） |
膜厚測(cè)量重復(fù)性（1） | 0.05nm (對(duì)于平面Si基底上100nm的SiO2膜層) |
折射率測(cè)量重復(fù)性（1） | 1x10-3 (對(duì)于平面Si基底上100nm的SiO2膜層) |
入射角度 | 40°-90°手動(dòng)調(diào)節(jié),，步距5°,，重復(fù)性0.02° |
光學(xué)結(jié)構(gòu) | PSCA（Δ在0°或180°附近時(shí)也具有極高的準(zhǔn)確度） |
樣品臺(tái)尺寸 | 可放置樣品尺寸：直徑170 mm |
樣品方位調(diào)整 | 高度調(diào)節(jié)范圍：0-10mm |
二維俯仰調(diào)節(jié)：±4° | |
樣品對(duì)準(zhǔn) | 光學(xué)自準(zhǔn)直顯微和望遠(yuǎn)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng) |
軟件 | •多語(yǔ)言界面切換 |
•預(yù)設(shè)項(xiàng)目供快捷操作使用 | |
•安全的權(quán)限管理模式（管理員、操作員） | |
•方便的材料數(shù)據(jù)庫(kù)以及多種色散模型庫(kù) | |
•豐富的模型數(shù)據(jù)庫(kù) | |
選配件 | 自動(dòng)掃描樣品臺(tái) 聚焦透鏡 |
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