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·模塊化設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)反射觀察,、透反射觀察配置

·復(fù)消色差光路,，整體光路支持25mm視野直徑

·可選配UV光源，提高觀察分辨率至亞微米結(jié)構(gòu),，UV由大功率LED產(chǎn)生,，具有UV和OUV功能

·12x12大樣品臺，可觀察晶圓,，LCD等大尺寸樣品

·6孔位電動物鏡轉(zhuǎn)盤,，配接32mm直徑長工作距離工業(yè)物鏡

·內(nèi)置電動或手動調(diào)焦系統(tǒng)

·獨(dú)有0.7X宏觀物鏡，具有宏觀晶圓檢查功能

·可實(shí)現(xiàn)明場,、暗場,、偏光,、干涉和斜照明方式

·機(jī)身內(nèi)置LED透、反射照明電源,，智能光強(qiáng)變化控制照明方式

·能自動記憶在不同物鏡下和不同觀察方式下**的光強(qiáng),、光闌大小及聚光鏡的組合，自動恢復(fù)到位,，操作簡單快速

·基座配觸摸按鈕,，控制顯微鏡的操作

·光強(qiáng)、光闌,、觀察方式和聚光鏡調(diào)節(jié)可由按鍵和計(jì)算機(jī)控制操作,，并自動在不同倍數(shù)物鏡下拍的照片中加相應(yīng)倍數(shù)標(biāo)尺

·具有色溫恒定系統(tǒng)，提供工作效率

·可配接攝像頭,，數(shù)碼相機(jī)進(jìn)行圖像采集,、分析、測量

·可配接熒光觀察,、高溫?zé)崤_,、陰極發(fā)光儀、光度計(jì)

·可配接自動掃描臺進(jìn)行多視場非金屬夾雜物分析和顆粒粒度,、清潔度分析