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三離子束切割儀 Leica EM TIC 3X

幾乎任何材質(zhì)樣品都可獲得高質(zhì)量截面,，在沒有任何變形或損傷的情況下揭開樣品內(nèi)部*真實(shí)結(jié)構(gòu)信息,，在使用徠卡EM TIC3X之前，這類工作從未變得如此之簡單,。徠卡EM TIC 3X三離子束切割儀適宜處理軟/硬復(fù)合,、帶有孔縫結(jié)構(gòu)、熱敏感性,、脆性及非均質(zhì)樣品,，獲得樣品截面,，從而進(jìn)行掃描電子顯微鏡（SEM），微區(qū)分析（EDS,，WDS,，Auger，EBSD）及原子力顯微鏡或掃描探針顯微鏡(AFM,，SPM)檢測,。三離子束（分別獨(dú)立控制），冷凍樣品臺(tái)及多樣品臺(tái),，確保離子束對(duì)樣品處理高效,，切割區(qū)域?qū)捛疑睿瑥亩@得高質(zhì)量截面切割結(jié)果,。

三離子束技術(shù)

三離子束部件垂直于樣品側(cè)表面,，因此在進(jìn)行離子束轟擊時(shí)樣品（固定在樣品托上）不需要做擺動(dòng)運(yùn)動(dòng)以減少投影/遮擋效應(yīng)，這又保證有效的熱傳導(dǎo),，減少樣品在處理過程中受熱變形,。

技術(shù)

三離子束匯聚于擋板邊緣的中點(diǎn)，形成一個(gè)100°轟擊扇面,，切向暴露于擋板上方的樣品（樣品上端高出擋板約20-100μm）,，直到轟擊到達(dá)樣品內(nèi)部目標(biāo)區(qū)域。新型設(shè)計(jì)的離子槍可產(chǎn)生的離子束研磨速率達(dá)到150μm/h (Si10 kV,，3.0 mA,，50μm切割高度)。徠卡獨(dú)特的三離子束系統(tǒng),，可獲得優(yōu)異的高質(zhì)量切割截面,，并且速率高，切割面寬且深,，這可大大節(jié)約工作時(shí)間,。通過這一獨(dú)特技術(shù)可獲得高質(zhì)量切割截面，區(qū)域尺寸可達(dá)>4×1mm

Leica EM TIC 3X - 設(shè)計(jì)和操作方面的創(chuàng)新性特點(diǎn)

高通量,，提高成本收益

??可獲得高質(zhì)量切割截面,，區(qū)域尺寸可達(dá)>4×1mm

??多樣品臺(tái)設(shè)計(jì)可一次運(yùn)行容納三個(gè)樣品

??離子研磨速率高，Si材料300μm/h,，50μm切割高度,，可滿足實(shí)驗(yàn)室高通量要求

??可容 納 * 大 樣 品 尺 寸 為50×50×10mm

??可使用的樣品載臺(tái)多種多樣簡單易用，高精度

??可簡易準(zhǔn)確地完成將樣品安裝到載臺(tái)上以及調(diào)節(jié)與擋板相對(duì)位置的校準(zhǔn)工作

??通過觸摸屏進(jìn)行簡單操控,，不需要特別的操作技巧

??樣品處理過程可實(shí)時(shí)監(jiān)控,，可以通過體視鏡或HD-TV攝像頭觀察

?? LED照明，便于觀察樣品和位置校準(zhǔn)

??內(nèi)置式，解耦合設(shè)計(jì)的真空泵系統(tǒng),，提供一個(gè)無振動(dòng)的觀察視野

??可在制備好的平整的切割截面上可再進(jìn)行襯度增強(qiáng)作用,，即離子束刻蝕處理。

??通過USB即可進(jìn)行參數(shù)和程序的上傳或下載

??幾乎適用于任何材質(zhì)樣品

??使用冷凍樣品臺(tái),，擋板和樣品溫度可降至–150°C

多種多樣的樣品載臺(tái)

幾乎適合于各式尺寸樣品,，并適合于廣泛用途。如用一個(gè)樣品托,，就可以完成前機(jī)械預(yù)制備（徠卡EM TXP）至離子束切割（徠卡EM TIC 3X）,，以及SEM鏡檢,，然后再放入樣品存儲(chǔ)盒中以備后續(xù)檢測,。

襯度增強(qiáng)

在離子束切割之后，無需取下樣品,，用同樣的樣品載臺(tái)還可對(duì)樣品進(jìn)行襯度 增強(qiáng)作用,，可以強(qiáng)化樣品內(nèi)不同相之前的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)（如晶界）

高精度

現(xiàn)在，樣品中越來越小的細(xì)節(jié)結(jié)構(gòu)正逐步受到人們的關(guān)注,。而通過切割獲得截面,，如獲得很小的TSVia孔結(jié)構(gòu)，已經(jīng)變得輕而易舉,。所有樣品臺(tái)都設(shè)計(jì)達(dá)到±2μm的樣品位置校準(zhǔn)精度,。不僅樣品臺(tái)的控制精度可以實(shí)現(xiàn)如此精確的目標(biāo)定位校準(zhǔn)工作，觀察系統(tǒng)也可觀察*小約3μm大小的樣品細(xì)節(jié),，以便進(jìn)行精確的目標(biāo)定位,。為幫助定位時(shí)更好地觀察樣品，4分割LED環(huán)形光源或LED同軸照明提供很大幫助,，幫助使用者從體視鏡或HD-TV攝像頭中獲得清晰的圖像,。

由于將真空泵內(nèi)置于儀器內(nèi)部，因此不需要再單獨(dú)騰出一個(gè)空間,。得益于真空泵的解耦合設(shè)計(jì),，在樣品制備過程中，觀察視野不會(huì)受到真空泵產(chǎn)生的振動(dòng)干擾,。