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膜厚測(cè)試儀
橢偏儀
應(yīng)力雙折射儀,，能夠快速、精準(zhǔn)測(cè)量雙折射相位差及其空間分布和方向,。廣泛應(yīng)用于玻璃,、晶體、聚合物薄膜,、鏡片,、晶片等質(zhì)量分析和控制領(lǐng)域。
日本Photonic-lattice成立于1996年,，以日本東北大學(xué)的光子晶體的研究技術(shù)為核心,，成立的合資公司,，尤其是其光子晶體制造技術(shù)**世界，并由此開發(fā)出的測(cè)量?jī)x器,。
根據(jù)應(yīng)用不同,，我們特別開發(fā)出5款不同的的膜厚測(cè)試儀/橢偏儀，每一款產(chǎn)品各具不同的特點(diǎn),。
PHL緊湊型桌面式橢偏儀 SE-101
型號(hào) | SE-101 |
重復(fù)性 | 厚度0.1nm,，折射率0.001 |
測(cè)量速度 | 0.05秒/測(cè)量點(diǎn) |
光源 | 636nm 半導(dǎo)體激光器 |
測(cè)量點(diǎn) | 1mm |
入射角 | 70度 |
測(cè)量尺寸 | 4英寸， |
儀器尺寸和重量 | 250x175x218.3mm/4kg |
數(shù)據(jù)接口 | 千兆以太網(wǎng)（攝像機(jī)信號(hào)）,，RS-232C |
功率 | AC100-240V（50/60Hz） |
軟件 | SE-View |
湊型桌面式橢偏儀 SE-102
型號(hào) | SE-102 |
重復(fù)性 | 厚度0.1nm,，折射率0.001 |
測(cè)量速度 | 0.05秒/測(cè)量點(diǎn) |
光源 | 636nm 半導(dǎo)體激光器 |
測(cè)量點(diǎn) | 1mm |
入射角 | 70度 |
測(cè)量尺寸 | 4英寸，1軸自動(dòng),，2軸手動(dòng) |
儀器尺寸和重量 | 300x235x218.3mm/4kg |
數(shù)據(jù)接口 | 千兆以太網(wǎng)（攝像機(jī)信號(hào)）,，RS-232C |
功率 | AC100-240V（50/60Hz） |
軟件 | SE-View |
快速映射橢偏儀 ME-110
型號(hào) | ME-110 |
重復(fù)性 | 厚度0.1nm，折射率0.001 |
測(cè)量速度 | 每分鐘1000個(gè)點(diǎn)以上 |
光源 | 636nm 半導(dǎo)體激光器 |
測(cè)量點(diǎn) | 0.5mm |
入射角 | 70度 |
測(cè)量尺寸 | 6英寸 |
儀器尺寸和重量 | 650x650x1740mm/120kg |
數(shù)據(jù)接口 | 千兆以太網(wǎng)（攝像機(jī)信號(hào)）,，RS-232C |
功率 | AC100-240V（50/60Hz） |
軟件 | SE-View |
型號(hào) | ME-110 |
重復(fù)性 | 厚度0.1nm,，折射率0.001 |
測(cè)量速度 | 每分鐘1000個(gè)點(diǎn)以上 |
光源 | 636nm 半導(dǎo)體激光器 |
測(cè)量點(diǎn) | 0.0055-0.5mm |
入射角 | 70度 |
測(cè)量尺寸 | 6英寸 |
儀器尺寸和重量 | 650x650x1740mm/120kg |
數(shù)據(jù)接口 | 千兆以太網(wǎng)（攝像機(jī)信號(hào)），RS-232C |
功率 | AC100-240V（50/60Hz） |
軟件 | SE-View |
允許厚度分布的測(cè)量,，例如,，透明電極膜和取向膜與基底玻璃的透明基板
型號(hào) | ME-110-T |
重復(fù)性 | 厚度0.1nm，折射率0.001 |
測(cè)量速度 | 每分鐘1000個(gè)點(diǎn)以上 |
光源 | 636nm 半導(dǎo)體激光器 |
測(cè)量點(diǎn) | 0.5mm |
入射角 | 70度 |
測(cè)量尺寸 | 6英寸 |
儀器尺寸和重量 | 650x650x1740mm/120kg |
數(shù)據(jù)接口 | 千兆以太網(wǎng)（攝像機(jī)信號(hào)）,，RS-232C |
功率 | AC100-240V（50/60Hz） |
軟件 | SE-View |
高速,，高解析度的表面分布測(cè)量
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