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Filmetrics 薄膜厚度測量儀測厚儀
F80-C膜厚測量儀使生產(chǎn)晶片的測量變得簡單實惠
工藝工程師希望薄膜厚度測量是快速容易的,，現(xiàn)在高精度的厚度成像技術(shù)讓 Filmetrics 可以快速建立配方,，并且擁有行業(yè)**的測試速度，而且價格僅僅是同行業(yè)測量設(shè)備的小部分,。 F80 可以應(yīng)用在化學(xué)機械拋光,、化學(xué)氣相沉積、蝕刻等工藝中,，這是晶片追索工藝工程師所期待的,。
新技術(shù)= 低成本
與傳統(tǒng)的測量工具不同,， F80 不需要高精度的移動硬件去找尋微小的測試 pads，相反的,，它可以快速的測量每個 pad 附近數(shù)以千計點的厚度,，然后處理“厚度成像”結(jié)果，進(jìn)而找到正確的厚度,?？梢杂行У奶鎿Q昂貴的移動硬件，進(jìn)而節(jié)約很高的成本,。
使用****的方便
因為使用厚度成像技術(shù),， F80 不依賴過時的基于視頻的圖像識別技術(shù)，這意味著在 CMP 應(yīng)用中通常會遇到的前后表面光對照比不同的問題,，在 F80 系統(tǒng)中是不存在的,。 也意味著配方的建立更自動化和直觀，數(shù)據(jù)可以及時存,，從而節(jié)省了時間,，訓(xùn)練及減少誤操作引發(fā)的錯誤。
快速
因為厚度成像技術(shù),， 300 毫米晶片在 F80 上掃描 21 點僅僅只需要 29 秒的時間,，非常快速,。
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暫無數(shù)據(jù),！
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