看了EQ-99X Energetiq激光驅動白光光源LDLS的用戶又看了
虛擬號將在 180 秒后失效
使用微信掃碼撥號
Energetiq激光驅動白光光源LDLS EQ-99X
Energetiq激光驅動白光光源LDLS EQ-99X是一款高亮度,,高穩(wěn)定、長壽命寬光譜光源,,采用LDLS™激光驅動光源技術,使用高功率連續(xù)激光直接聚焦氙燈內的氙離子加熱至非常高的的溫度,,從而發(fā)出高效的寬頻譜光,。具有高可靠性,高性能,,高亮度,,長壽命,紫外功率高等特點,。其產品具有很寬的光譜范圍,,譜線包括深紫外線(DUV), 并覆蓋從可見光到近紅外光區(qū)(NIR),,波長范圍從 170nm到2100nm 以上,。
產品特點:
連續(xù)激光等離子體發(fā)光,100-200μm光斑
整個光譜具有高亮度(170-2100nm)
可取代氘燈,,鹵素燈,,氙燈等多種燈
非常好的空間和功率穩(wěn)定性
超凈間裝配提高穩(wěn)定性和壽命
無電極長壽命運行,降低運行成本
應用:
紫外可見紅外光譜,,顯微,,單色儀光源
半導體厚度測量,形貌測量
光學元件測量
環(huán)境,,氣象監(jiān)測,,氣相測量
材料表征,先進成像/照明
長壽命燈應用
產品參數(shù):
產品型號 | EQ-99X | EQ-99XFC | EQ-77 | EQ-400 |
波長范圍 | 170-2100nm | 190-2100nm | 170-2100nm | 170-2100nm |
輸出功率 | 0.5W | 70mW | 2W | 15W |
典型亮度 | 10 mW/mm2.sr.nm | 60 μW/nm | 40mW/mm2.sr.nm | 100mW/mm2 .sr.nm |
數(shù)值孔徑 | Up to 0.47 | 0.22 | Up to 0.5 | Up to 0.5 |
光源壽命 | 約10000 hrs | 約10000 hrs | 約10000 hrs | 約10000 hrs |
同步輸出 | 自由空間 | 光纖耦合 | 自由空間 | 自由空間 |
光源重量 | 0.7kg | 0.7kg | 2.2kg | 2.7kg |
冷卻方式 | 風冷 | 風冷 | 水冷 | 水冷 |
光源尺寸 | 82.3*85.7*76.2mm | 82*86*76mm | 128*175*102mm | 135*145*56mm |
目前LDLS激光驅動白光光源已廣泛應用于科研和工業(yè)生產,,超過2000臺光源出貨,,中國大部分高校和部分半導體檢測廠家均在使用該光源且反饋良好,!
產品技術優(yōu)勢:
1.寬光譜,高亮度:LDLS激光驅動白光光源具有很寬的光譜表現(xiàn),,從深紫外-可見光-近紅外全覆蓋,,在170-2100nm均有極高的亮度表現(xiàn)
由下圖我們可以看出EQ-99光源亮度在紫外區(qū)域是75W氙燈的10倍,可見光區(qū)域也是數(shù)倍,;對于30W的氘燈亮度更是100倍以上,。
2.長壽命:LDLS激光驅動光源在工作10000小時后仍具有90%輸出功率,而氙燈下降到50%只需要2000小時,,氘燈只需要1000小時,,極大地節(jié)約換燈,中斷實驗/產品線調試等運行成本,,另外LDLS還也可以在24*7條件下持續(xù)工作,。
3.光斑極小:下面三幅分別為氙燈,,LDLS激光驅動白光光源的等離子發(fā)光體圖,。經(jīng)過測試氙燈尺寸大于2mm*2mm,EQ-77約為150*300μm,,EQ-99約為70*145μm,。極小的等離子體光斑帶來非常高亮度。易于聚焦于光譜儀/分光儀,,光路搭建,,在使用200μm以下狹縫時具有非常高的優(yōu)越性,進入的能量比普通光源能高達10-100倍,;另外耦合于光纖中具有非常好的效果,,EQ-99XFC使用200μm光纖可以輸出50mW的光,而普通氙燈鹵素燈幾乎很難耦合,。
氙燈(左)和LDLS(右)等離子體實物圖
4.等離子體位置/功率非常穩(wěn)定:下圖為等離子體中心位置監(jiān)測圖,,在200Hz頻率下共2500個監(jiān)測點,平均縱向不穩(wěn)定度為0.094μm,,橫向不穩(wěn)定度為0.145μm,,具備了極高的光斑位置穩(wěn)定性,從而保證了測量過程和結果的穩(wěn)定性,。1000個積分時間為8ms共8s強度測量,,平均強度不穩(wěn)定性為0.25%,峰峰值不穩(wěn)定性為0.55%,。
等離子體中心位置強度不穩(wěn)定性測量
暫無數(shù)據(jù),!