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FEI Quanta 系列包括六款可變壓力和環(huán)境掃描電子顯微鏡 (ESEM),。所有這些產(chǎn)品均可滿足工業(yè)工藝控制實(shí)驗(yàn)室,、材料科學(xué)實(shí)驗(yàn)室和生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)室的多種樣本和成像要求。
Quanta 系列掃描電子顯微鏡屬于多功能,、高性能儀器,,并具有高真空、低真空和 ESEM 三種模式,,能夠處理的樣本類型之多堪稱 SEM 系統(tǒng)之*,。所有 Quanta SEM 系統(tǒng)均可配備分析系統(tǒng),比如能量色散譜儀,、X 射線波長色散譜儀以及電子背散射衍射系統(tǒng),。此外,場發(fā)射電子槍 (FEG) 系統(tǒng)含有一個用于明場和暗場樣本成像的 S/TEM 檢測器,。SEM 系統(tǒng)中的另一個可變配置是電動工作臺的尺寸(分 50mm,、100mm 和 150mm 三種)以及電動 Z 軸行程的大小(分別為 25mm,、60mm 和 65mm),。Quanta 650 和 650 FEG 都設(shè)計(jì)了大標(biāo)本室,能夠分析和瀏覽大型標(biāo)本
隨著 Quanta 50 系列的推出,,現(xiàn)在的 Quanta SEM 系列更為靈活,。對于材料科學(xué)來說,這些全新儀器可滿足對眾多類型材料進(jìn)行研究以及表征結(jié)構(gòu)和成分的需求,。FEI Quanta™ 50 系列十分靈活,,功能多樣,能夠應(yīng)對當(dāng)今眾多研究領(lǐng)域的挑戰(zhàn),。觀測任意樣本并獲得所有數(shù)據(jù) - 表面和成分圖像可與配件結(jié)合起來,,確定材料屬性和元素成分。
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