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測量精度高,；方便快捷地分析樣品的表面形貌和粗造度；分辨率高,，景深大,，清晰觀察不同焦平面上的圖像信息,；共焦切層，三維重組,，多角度觀察,；對不同時間，不同位置的圖像進行無縫拼接,，再現(xiàn)性強,；可獲得亞微米級的線寬、面積,、體積,、臺階、線與面粗造度,，透明膜厚等幾何參數(shù)測量數(shù)據(jù)。
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