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Stage-Base™ 450

主動振動及運動隔離系統(tǒng)

為了滿足放置在振動隔離系統(tǒng)上的半導體設備的**挑戰(zhàn)的要求,，TMC繼續(xù)推進技術(shù)進步來開發(fā)新的解決方案。Stage-Base™450是新一代的集成音圈技術(shù)的主動硬裝壓電陶瓷振動消除系統(tǒng),。只有TMC可以提供這種帶有用于運動平臺振動隔離的音圈電機的獨特先進低頻串行隔振技術(shù),。

Stage-Base 450是專門設計用于具有高精度電動x-y平臺的先進半導體工具的主要振動隔離系統(tǒng)。這種儀器需要非常高效的振動隔離,，同樣他們也要求通過快速設置移動平臺來減小負載從而極大的提高工具產(chǎn)量,。新一代主動控制系統(tǒng)在STACIS iX的基礎上，包括TMC的STACIS技術(shù),，應用壓電陶瓷驅(qū)動器和在串行結(jié)構(gòu)中添加剛性的懸架來實現(xiàn)* da化的振動隔離,。這使得地板的隔振頻率從0.6Hz開始，并且在響應階段力時顯著減小了初始偏差,，這在業(yè)內(nèi)是****的,。由于用于快速設置調(diào)節(jié)時間來進一步增加生產(chǎn)量的前饋控制音圈電機的加入，使其成為用于運動平臺應用的先進的主動振動和運動隔離系統(tǒng),。

特點：

1,、包含獨特的STACIS技術(shù)

2、采用可擴展的壓電陶瓷致動器

3,、負載的位置可重復性在微米范圍內(nèi)

4,、可安裝的框架設計

5、6自由度

6、可選的音圈電機前饋或反饋

7,、主動隔振從0.6赫茲開始

8,、快速的調(diào)節(jié)時間來響應平臺運動

9、沒有氣浮支撐

10,、通過USB2.0與電腦的圖形用戶界面GUI連接的高速數(shù)字控制器

11,、簡單、魯棒性強,，性價比高