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特點(diǎn)：

1.六自由度主動振動阻尼系統(tǒng)

2 .獨(dú)立或集成的強(qiáng)力電磁致動器

3. 數(shù)字控制器

4. 非接觸式電子高度控制閥

優(yōu)點(diǎn)：

1、減小載荷運(yùn)動和調(diào)整時間

2,、更高的分辨率

3、模塊化設(shè)計允許用戶指定一個完整的單元或組件,，方便OEM集成

4,、前饋參數(shù)自動調(diào)節(jié)，簡化設(shè)置

Electro-Damp®是一款商業(yè)化,、主動的隔振系統(tǒng),，專門設(shè)計來增加半導(dǎo)體制造應(yīng)用的分辨率以及產(chǎn)量,。Electro-Damp®II是對原始系統(tǒng)完全重新的設(shè)計，添加了模塊,、數(shù)字控制,、前饋控制，強(qiáng)力/高清晰度致動器,，以及專門設(shè)計用于OEM應(yīng)用如顯微光刻法,，檢驗和計量工具的多個數(shù)字用戶接口。

半導(dǎo)體制造工具的放置需要隔振系統(tǒng),。針對地板噪聲,，系統(tǒng)必須“軟”以便有效過濾地板振動達(dá)到隔振效果。同時,，系統(tǒng)必須“硬”來響應(yīng)平臺受力,。

除了利用慣性、主動反饋?zhàn)枘?，Electro-DampII還使用前饋信息進(jìn)一步提高系統(tǒng)響應(yīng),。前饋控制器的工作原理是通過具有平臺位置以及加速度信息的平臺控制器獲得信息，然后經(jīng)過數(shù)據(jù)處理后提供力用于驅(qū)動負(fù)載,，大大減少載荷運(yùn)動,。DC2000數(shù)字控制器還可以利用平臺測試模式自動調(diào)節(jié)前饋所需的參數(shù)。這使得初始安裝或改變有效載荷后的設(shè)置更加快速和容易,。Electro-Damp®II的模塊化設(shè)計允許系統(tǒng)單獨(dú)使用電子伺服閥或者電磁驅(qū)動,，或者對于*苛刻的應(yīng)用程序兩者結(jié)合使用。